[发明专利]固态成像装置

权利要求书

1.一种固态成像装置，包括：

半导体衬底；

在所述半导体衬底中提供的光接收部分；以及

与要被成像的对象接触的接触表面，该接触表面位于所述半导体衬底的背面上；

其中所述接触表面为粗糙表面；以及

在所述半导体衬底中，对透射穿过与所述接触表面相接触的所述要被成像的对象的光进行光电转换，使得所述光接收部分接收通过所述光电转换而产生的电荷，从而获取所述要被成像的对象的图像。

2.根据权利要求1的固态成像装置，

其中所述要被成像的对象为手指；

所述接触表面具有交替排列的凹陷部分和凸起部分；以及

所述接触表面的所述凹陷和凸起部分的平均排列间距小于所述手指的指纹的凹陷和凸起部分的平均排列间距。

3.根据权利要求2的固态成像装置，

其中所述接触表面的所述凹陷和凸起部分的所述平均排列间距为所述手指的所述指纹的所述凹陷和凸起部分的所述平均排列间距的1/2或更小。

4.根据权利要求2的固态成像装置，

其中所述接触表面的所述凹陷和凸起部分的所述平均排列间距为500μm或更小。

5.根据权利要求2的固态成像装置，

其中所述接触表面的所述凸起部分的平均高度低于所述手指的所述指纹的所述凸起部分的平均高度。

6.根据权利要求2的固态成像装置，

其中提供了多个所述光接收部分；以及

所述接触表面的所述凹陷和凸起部分的所述平均排列间距小于所述光接收部分的平均排列间距。

7.根据权利要求6的固态成像装置，

其中所述光接收部分的所述平均排列间距小于所述手指的所述指纹的所述凹陷和凸起部分的所述平均排列间距。

8.根据权利要求2的固态成像装置，

其中所述接触表面的所述凹陷和凸起部分包括由于处理而产生的变形。

9.根据权利要求1的固态成像装置，进一步包括：

在所述半导体衬底的所述背面上提供的覆盖层；

其中所述半导体衬底的所述背面以及所述覆盖层的表面为粗糙表面；以及

所述接触表面位于所述覆盖层的所述表面上。