[发明专利]基板的旋转装置、磨边装置及磨边方法

权利要求书

1、一种基板的旋转装置，包括：

辅助支撑单元，具有两个支撑元件，这些支撑元件相对而设，且这些支撑元件具有第一支撑状态及第二支撑状态，当这些支撑元件于该第一支撑状态时，这些支撑元件相距第一距离，当这些支撑元件于该第二支撑状态时，这些支撑元件相距第二距离；以及

旋转支撑单元，具有旋转元件，该旋转元件设置于这些支撑元件之间并用以旋转基板。

2、如权利要求1所述的基板的旋转装置，其中该辅助支撑单元具有驱动元件，该驱动元件驱动这些支撑元件移动，以改变这些支撑元件的支撑状态或改变这些支撑元件与该旋转元件的相对高度。

3、如权利要求1所述的基板的旋转装置，其中这些支撑元件具有多个孔，以喷出气体而提供支撑该基板的支撑力。

4、如权利要求1所述的基板的旋转装置，其中这些支撑元件具有多个孔，以吸进气体而提供吸附该基板的吸附力。

5、如权利要求1所述的基板的旋转装置，其中这些支撑元件分别平行于该基板的两侧边。

6、如权利要求1所述的基板的旋转装置，其中该旋转支撑单元具有驱动元件，该驱动元件驱动该旋转元件升降，以改变该旋转元件与这些支撑元件的相对高度。

7、如权利要求1所述的基板的旋转装置，其中该旋转支撑单元提供吸附力以使该旋转元件吸附该基板。

8、如权利要求1所述的基板的旋转装置，其中这些支撑元件具有多个爪部，以协助支撑该基板。

9、一种基板的磨边装置，包括：

辅助支撑单元，具有两个支撑元件，这些支撑元件相对而设，且这些支撑元件具有第一支撑状态及第二支撑状态，当这些支撑元件于该第一支撑状态时，这些支撑元件相距第一距离，当这些支撑元件于该第二支撑状态时，这些支撑元件相距第二距离；

旋转支撑单元，具有旋转元件，该旋转元件设置于这些支撑元件之间并用以旋转基板；以及

磨边单元，具有至少一磨削元件，该磨削元件邻设于这些支撑元件其中之一。

10、如权利要求9所述的基板的磨边装置，其中该辅助支撑单元具有驱动元件，该驱动元件驱动这些支撑元件移动，以改变这些支撑元件的支撑状态或改变这些支撑元件与该旋转元件的相对高度。

11、如权利要求9所述的基板的磨边装置，其中这些支撑元件具有多个孔，以喷出气体而提供支撑该基板的支撑力。

12、如权利要求9所述的基板的磨边装置，其中这些支撑元件具有多个孔，以吸进气体而提供吸附该基板的吸附力。

13、如权利要求9所述的基板的磨边装置，其中这些支撑元件分别平行于该基板的两侧边。

14、如权利要求9所述的基板的磨边装置，其中该旋转支撑单元具有驱动元件，该驱动元件驱动该旋转元件升降，以改变该旋转元件与这些支撑元件的相对高度。

15、如权利要求9所述的基板的磨边装置，其中该旋转支撑单元提供吸附力以使该旋转元件吸附该基板。

16、如权利要求9所述的基板的磨边装置，其中该磨边单元还包括驱动元件，该驱动元件驱动该磨削元件磨削该基板边缘。

17、如权利要求9所述的基板的磨边装置，其中这些支撑元件具有多个爪部，以协助支撑该基板。

18、一种基板的磨边方法，包括：

磨边程序，磨削基板的边缘；

解负载程序，改变旋转支撑单元的旋转元件与辅助支撑单元的两个支撑元件的相对高度；

气体喷射程序，通过这些支撑元件喷射气体以提供支撑该基板的支撑力；

旋转程序，通过该旋转元件旋转该基板；

支撑元件定位程序，驱动这些支撑元件移动，使这些支撑元件由第一支撑状态改变为第二支撑状态；以及

重新负载程序，回复该旋转元件及这些支撑元件的相对高度。

19、如权利要求18所述的基板的磨边方法，其中该磨边程序通过磨边单元的磨削元件磨削该基板边缘。