[发明专利]获得改进前馈数据的方法、平版印刷设备和器件制造方法

权利要求书

1.一种用于获得用于前馈控制系统的改进的前馈数据的方法，从而通过设定点分布轮廓移动一个部件，所述设定点分布轮廓包括所述部件的多个目标状态，每个目标状态是在对应序列的目标时间之一上获得的，所述的方法包括：

a)按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件；

b)在所述移动期间在多个时间上测量所述部件的状态；

c)比较测量的状态与通过所述设定点分布轮廓确定的对应目标状态，以获得一组误差；

d)用非线性滤波器滤波所述这组误差；

e)根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据，所述改进的前馈数据可以由所述前馈控制系统使用来更加准确地通过设定点分布轮廓移动所述部件；

所述方法进一步包括：

使用最近获得的改进的前馈数据代替第一组前馈数据按迭代方式重复步骤(a)到(e)，直到确定：在步骤(c)获得的这组误差满足一个阈值条件时为止；和

输出满足阈值条件的改进的前馈数据。

2.根据权利要求1所述的方法，其中：所述的滤波取决于所述这组误差的幅度。

3.根据权利要求2所述的方法，其中：所述的滤波包括抑制小幅度误差的量大于抑制较大幅度误差的量。

4.根据权利要求1所述的方法，其中：所述的滤波包括分解误差信号使之成为多个分立的频带，并且对于每个频带单独地施加一个选择的滤波操作。

5.根据权利要求1所述的方法，其中：在移动期间，测量部件状态的多个时间对应于所述多个目标时间的至少一个子组。

6.根据权利要求1所述的方法，其中：所述目标状态包括以下所述的至少一个：所述部件的目标位置、所述部件的目标速度、所述部件的目标加速度。

7.根据权利要求1所述的方法，其中：对于所述滤波器进行配置，使其可以传递幅度大于预定的噪声带的误差的成分并且排斥其它的成分。

8.根据权利要求1所述的方法，其中：所述的这组误差由数据点e_y(i)的一个阵列表示，其中0≤i≤n，n是组中的采样数，所述的滤波器由一个依赖于幅度的滤波器矩阵Φ(e_y(i))表示，步骤(d)对应于Φ(e_y(i))和e_y(i)的乘积。

9.根据权利要求8所述的方法，其中：所述的Φ(e_y(i))的定义如下：

其中

φ(x)=ϵ(x)-δϵ(x)|x|]]>

和

其中δ为所述滤波器的上噪声带。