[发明专利]获得改进前馈数据的方法、平版印刷设备和器件制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及用于获得通过设定点分布轮廓移动一个部件的系统的改进的前馈数据的方法，用于实现所述方法的平版印刷设备，以及利用平版印刷设备和改进的前馈数据的器件制造方法。

背景技术

平版印刷设备是将期望的图形施加到衬底上(通常施加到衬底的目标部分上)的机器。例如可以使用平版印刷设备制造集成电路(IC)。在这种情况下，可以使用图形制造装置(还称之为掩模或分划板)产生要在集成电路单层上形成的电路图形。可将这种电路图形转印到衬底(如，硅晶片)的目标部分(例如包括一个或几个模片(die)的一部分)上。电路图形的转印通常要经过向设置在衬底上的一层辐射敏感材料(抗蚀剂)的成像过程。在一般情况下，单个衬底包含要连续制图的相邻目标部分的一个网格。已知的平版印刷设备包括所谓的步进器和所谓的扫描器；在步进器中，通过向目标部分一次曝光整个图形来照射每个目标部分；在扫描器中，通过在一指定方向(“扫描方向”)经过辐射束扫描图形，同时在平行于或反向平行于这个方向同步地扫描所述衬底，照射每个目标部分。还可能通过向衬底印刷所述图形从图形制造装置向衬底转印所述图形。

平版印刷设备性能的一个重要的方面是准确度，即，在照射期间要移动的部件能够移动的准确度，所述要移动的部件例如有：包含需要照射的图形的分划板台(图形制造装置台)和包含要照射的衬底的衬底台。在前馈控制下，部件的移动是利用标准的基于PID(比例-积分-微分)的控制系统进行控制的。然而，为了获得纳米大小的位置准确度，建立时间为毫秒或毫秒以下的数量级，期望使用前馈控制。

除了通用的基于加速度、冲击、甚至于突变的前馈控制设计(即，基于加速度和位置相对于时间的高阶导数的设计)外，已经提出建议：应用迭代学习控制来获得短的建立时间。这种方法的优点是，只需要有限的系统知识就可以实现高精度的前馈控制。所述方法基于对前馈信号或“力”的迭代学习，所述前馈信号或“力”在部件通过设定点分布轮廓的在一系列尝试“运行”上使被测误差信号(定义为从设定点分布轮廓移动的部件状态的测量偏差，设定点分布轮廓确定状态的预期时间演变)变为最小。当将学习信号施加到系统或过程上时，学习信号对于在不同的尝试过程中重复发生的误差信号产生有效的抵销影响(“重复性的影响”)。

在前馈信号的学习期间，在一个特定的尝试期间的被测误差信号可能包含非重复性的影响，如随机噪声，非重复性的影响在不同的尝试中是不同的。这样的影响可使学习的前馈信号向系统内注入噪声。这可能导致性能下降和/或限制使用基于迭代学习的控制获得的改进。学习过程本身的效率取决于学习算法的增益，所述增益可能受到所述过程的稳定性的限制。

发明内容

期望提供一种系统，用于改进获得迭代学习数据的方式。

按照本发明的一个实施例，提供一种方法，用于获得用于前馈控制系统的改进的前馈数据，从而通过设定点分布轮廓移动一个部件，所述设定点分布轮廓包括部件的多个目标状态，每个目标状态基本上是在对应序列的目标时间之一获得的，所述的方法包括：a)按照设定点分布轮廓使用第一组前馈数据并且使用前馈控制系统来移动所述部件；b)在移动期间在多个时间测量部件的状态；c)比较测量的状态与通过设定点分布轮廓确定的对应目标状态，以获得一组误差；d)对这组误差应用非线性滤波器；e)根据经过滤波的误差产生改进的前馈数据，所述改进的前馈数据可以由前馈控制系统使用来更加准确通过设定点分布轮廓移动部件。

按照本发明的另一个实施例，提供一种平版印刷投影设备，对所述设备进行安排，使其可以将图形从一个图形制造装置投影到一个衬底上，所述设备包括：用于一个部件的一个活动支撑；和通过设定点分布轮廓移动活动支撑的一个系统，所述设定点分布轮廓包括活动支撑的多个目标状态，每个目标状态基本上是在对应序列的目标时间之一获得的，所述的系统包括：按照设定点分布轮廓移动活动支撑的移动装置；使用第一组前馈数据控制移动装置的前馈控制系统；在移动期间在多个时间测量部件的状态的测量系统；比较装置，比较测量的状态与对应的目标状态以获得一组误差；滤波器，配置成滤波这组误差；和前馈数据产生装置，设置成根据滤波的这组误差产生改进的前馈数据，所述改进的前馈数据可由前馈控制系统使用，以控制所述移动装置，从而可以通过设定点分布轮廓更加准确地移动活动支撑。