[发明专利]异种粘性带的张贴方法和使用该方法的接合方法及其装置

权利要求书

1.一种异种粘性带的张贴方法，利用包含了具有在从第1移载单元接收玻璃衬底的位置、对接收的玻璃衬底张贴粘性带的位置、将张贴粘性带的玻璃衬底转交给第2移载单元的位置上移动自如的1组的第1和第2吸附台的第1活动台、以及具有将供给的第1粘性带和第2粘性带以热压接方式贴在玻璃衬底的第1头和第2头的粘性带张贴单元的异种粘性带张贴装置，将所述不同的第1和第2粘性带张贴在玻璃衬底，其特征在于，所述方法包含下列过程：

由所述第1移载单元将玻璃衬底移载到所述第1活动台的第1吸附台的步骤；

将玻璃衬底移载到所述第1吸附台后，将所述第1活动台移动到第1粘性带的张贴位置的步骤；

在处于所述张贴位置的玻璃衬底上用第1头张贴第1粘性带的步骤；

将张贴所述第1粘性带的玻璃衬底对准位置地从第1吸附台移载到第2吸附台，且同时将处于接收玻璃衬底的位置的下一玻璃衬底从所述第1移载单元移载到第1吸附台的步骤；

移动所述第1活动台，以便使两块玻璃衬底位于所述第1和第2粘性带的张贴位置的步骤；

对所述各玻璃衬底同时进行用第1头的第1粘性带的张贴和用第2头的第2粘性带的张贴的步骤；

将张贴了两块粘性带的玻璃衬底从所述第2吸附台移载到第2移载单元的步骤。

2.如权利要求1中所述的异种粘性带的张贴方法，其特征在于，所述方法还包含下列过程：

在将玻璃衬底移载到所述吸附台的步骤前，从玻璃衬底输送用的托盘取出玻璃衬底并往暂置台输送的期间识别玻璃衬底上带有的对准标记的位置的步骤；

根据所述对准标记的位置的识别结果，校正玻璃衬底的位置并将玻璃衬底转交给所述暂置台的步骤；

由所述第1移载单元，将移载到所述暂置台的玻璃衬底输送到转交给所述粘性带张贴单元的位置的步骤。

3.一种键合方法，其特征在于，

是利用权利要求1所述的异种粘性带的张贴方法在玻璃衬底上安装LSI和柔性印刷电路的键合方法，所述方法包含下列过程：

在张贴在玻璃衬底的第1和第2粘性带的一方安装LSI，并且在另一方安装柔性印刷电路的步骤；

压接安装在所述玻璃衬底上的LSI和柔性印刷电路的步骤。

4.一种异种粘性带张贴装置，将不同种类的第1和第2粘性带张贴到玻璃衬底，其特征在于，包含下列组成单元：

第1移载单元；

第2移载单元；

具有在从第1移载单元接收玻璃衬底的位置、对接收的玻璃衬底张贴粘性带的位置、将张贴粘性带的玻璃衬底转交给第2移载单元的位置上移动自如的1组的第1和第2吸附台的第1活动台；以及

具有将供给的第1粘性带和第2粘性带以热压接方式贴在玻璃衬底的第1头和第2头的粘性带张贴单元，

由所述第1移载单元将玻璃衬底移载到所述第1活动台的第1吸附台后，将所述第1活动台移动到第1粘性带的张贴位置；

用第1头在处于所述张贴位置的玻璃衬底上张贴第1粘性带；

将张贴所述第1粘性带的玻璃衬底对准位置地从第1吸附台移载到第2吸附台，同时还将处于接收玻璃衬底的位置的下一玻璃衬底从所述第1移载单元移载到第1吸附台；

使所述第1活动台移动，以便两块玻璃衬底位于所述第1和第2粘性带的张贴位置；

对所述各玻璃衬底同时进行用第1头的第1粘性带的张贴和用第2头的第2粘性带的张贴；

将张贴了两块粘性带的玻璃衬底从所述第2吸附台移动到第2移载单元。

5.如权利要求4中所述的异种粘性带张贴装置，其特征在于，所述装置还包含下列组成单元：

从玻璃衬底输送用的托盘取出玻璃衬底并输送到暂置台的输送单元；

检测出设置在所述玻璃衬底的对准标记的位置检测单元，

其中在构成将玻璃衬底移载到所述第1吸附台之前，一面用所述输送单元从托盘将玻璃衬底输送到暂置台，一面用所述位置检测单元检测出该玻璃衬底带有的对准标记的位置，

根据其结果校正玻璃衬底的位置，并将玻璃衬底转交给所述暂置台后，

由所述第1移载单元将移载到所述暂置台的玻璃衬底输送到转交给所述粘性带张贴单元的位置。