[发明专利]基板组装装置及使用它的基板组装方法

说明书

技术领域

本发明涉及下滴液晶，在真空中粘合基板，从而制造液晶显示器的基板组装装置以及基板组装方法。

背景技术

在专利文献1记载的基板组装装置中，公开了下述构成，即，在对上下基板进行保持并进行粘合的上下工作台(或者一个工作台)上，沿为了负压的吸引吸附而设置在工作台表面的圆形的通孔的周缘，环状地形成粘接部件，通过在没有粘接粘接部件的部分粘接覆盖与粘接部件厚度大致相同的缓冲材料，来进行高度调整，使表面为齐平面状。另外，记载了在配置着粘接部件的附近配置提升销，通过向基板推压提升销，来剥离粘接部件的构成。再有，也公开了为了在真空中附加粘接部件，能够通过静电吸附力保持基板，而在四角的工作台的各角部配置静电卡盘的构成。

【专利文献1】特开2005-351961号公报

在上述记载的粘合装置的构成中，因为是通过将提升销推压到吸附在粘接部件的基板上来进行分离，所以存在脱离时基板翘曲的问题。

本发明的目的是提供一种即使在真空中也能可靠地保持基板，并且，在将粘接部件从基板面上剥离时，基板不会产生翘曲的粘合装置。

发明内容

为了实现上述目的，在本发明中，在设置于上腔的内侧的上工作台上开设使粘接销通过的孔，再有，设置用于对具有弹性体的板进行固定的磁铁和螺孔，可以更换。另外，粘接销的上下机构能够相对于上工作台的上下机构实现独立动作，驱动是使用可进行速度以及位置控制的伺服电机或步进电机，能够根据需要产生最妥当的脱离条件而构成。

粘接销的前端在以往技术中使用的粘接片上粘合设置有真空吸附孔的部件，仅前端部可以更换。粘合在前端部的片除了上述粘接片外，还可以根据需要，变更为具有紧密结合力的片或者吸附垫等。

发明效果

根据本发明，可以不会翘曲地分离大型基板，有助于提高预见到的今后更加大型化的液晶显示器用面板的生产工序的生产效率。

附图说明

图1是表示本发明中的基板组装装置的整体构成的示意图。

图2是粘合装置的组合引导件的说明图。

图3是粘接销机构的示意说明图。

图4是上工作台机构的示意说明图。

图5是粘接销的说明图。

符号说明

1...支架、2...Z轴驱动机构、2a...Z轴驱动马达、2b...滚珠丝杠、2c...滚珠丝杠承接部、3...引导机构、3a...线性引导件、4...负载传感器、5...上框架、6...上轴、7...上腔、8...下腔、9...上工作台、9a...上工作台吸引吸附孔、10...下工作台、11...弹性体板、11a...弹性体、12...下轴、13...XYθ移动单元、14...粘接销驱动机构、14a...上下驱动用马达、14b...粘接销板、14c...粘接销、14d...粘接销上下机构、14e...粘接片、14f...粘接销吸引吸附孔。

具体实施方式

下面，根据附图，说明本发明的一个实施方式。

【实施例1】

图1是表示本发明的基板组装装置的一个实施例的图。基板组装装置的构成是，将支架1和上框架5作为刚体支撑部件，在其内侧设置上腔7和下腔8。另外，上框架5的构成是，通过旋转驱动Z轴驱动马达2a的滚珠丝杠2b，借助设置于上框架5的滚珠丝杠承接部2c，上框架5相对于支架1在上下方向移动，该Z轴驱动马达2a构成设置在支架1侧的Z轴驱动机构2。设置四组上框架5上下移动时的引导机构3。引导机构3的局部剖视图在图2中表示。如图2所示，在固定于支架侧的梁17上设置两个线性引导件3a，在固定于上框架5侧的梁18上设置线性移动部3b。如图所示，被组合成一个引导面相对于另一个引导面垂直。

在支架1的上方安装着用于支撑下工作台10的多个下轴12。各下轴12为了确保与下腔8内的气密性，借助真空密封件突出于下腔8内。再有，在各下轴12和下工作台10之间，安装着被构成为能分别在XYθ方向独立运动的XYθ移动单元13。另外，XYθ移动单元13也可以由使用了在上下方向固定，在水平方向能够自由移动的滚珠轴承等的机构构成。在下工作台10的水平方向(X、Y方向)，未图示出的多个下工作台水平驱动机构设置在下腔8的外侧，通过用设置于驱动机构的轴，推压下工作台侧面(下工作台的厚度方向)，进行XYθ方向的定位而构成。

再有，下腔8和上腔7为可分割的构成，在其连接部设置着未图示出的密封环，据此，使上下的腔合体，防止对内部进行排气时的空气的泄漏。