[发明专利]图像检查方法以及使用了该方法的图像检查装置有效
申请号: | 200710103294.0 | 申请日: | 2007-05-15 |
公开(公告)号: | CN101074932A | 公开(公告)日: | 2007-11-21 |
发明(设计)人: | 西野裕久;宇野真彦 | 申请(专利权)人: | 三菱电机株式会社 |
主分类号: | G01N21/95 | 分类号: | G01N21/95;H01L21/66 |
代理公司: | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所 | 代理人: | 吴丽丽 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 图像 检查 方法 以及 使用 装置 | ||
1.一种图像检查方法,用透射照明单元照明受检物,用摄像单元拍摄透过上述受检物的照明光以作为透射图像,进行上述受检物的检查,所述图像检查方法的特征在于包括:
第1步骤,拍摄上述透射图像;
第2步骤,对上述透射图像适用二次微分滤波器,将其变换成二次微分滤波器图像,其中上述二次微分滤波器指的是连续两次使用了微分滤波器的情况;
第3步骤,按照预定的阈值把上述二次微分滤波器图像二值化,变换成第1二值化图像;
第4步骤,按照其它的预定阈值把上述透射图像二值化,变换成第2二值化图像;
第5步骤,对于上述第1二值化图像以及上述第2二值化图像进行二值特征量的计测,计算二值特征量;以及
第6步骤,从上述二值特征量进行上述受检物是否良好的判定。
2.根据权利要求1所述的图像检查方法,其特征在于:
在上述第2步骤中,二次微分以图像亮度的差分计算,并使作为取其差分的像素的距离的差分距离可变,计算二次微分值。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的图像检查方法,其特征在于:
在上述第1步骤以后,添加了使用上述透射图像的平均亮度进行把亮度规格化的亮度变换的步骤,其中把过亮的图像或者过暗的图像变换成适宜亮度的图像。
4.根据权利要求1或权利要求2所述的图像检查方法,其特征在于:
在上述第1步骤以后,添加了使用最小值滤波器、平均滤波器或者这两种滤波器,进行透射图像的亮度变换的步骤。
5.根据权利要求1或权利要求2所述的图像检查方法,其特征在于:
在上述第5步骤之前,使用上述透射图像,计算上述受检物的检查区域,在第5步骤中,在上述检查区域以外的区域中不进行二值特征量的计测。
6.一种图像检查装置,用透射照明单元照明受检物,用摄像单元拍摄透过上述受检物的照明光作为透射图像,进行上述受检物的检查,所述图像检查装置的特征在于包括:
图像存储器,存储上述透射图像;
图像处理单元,对上述透射图像适用二次微分滤波器,将其变换成二次微分滤波器图像,按照预定的阈值把上述二次微分滤波器图像二值化,变换成第1二值化图像,按照其它的预定阈值把上述透射图像二值化,变换成第2二值化图像,对于上述第1二值化图像以及上述第2二值化图像进行二值特征量的计测,计算二值特征量,其中上述二次微分滤波器指的是连续两次使用了微分滤波器的情况;以及
判定单元,从上述二值特征量判定上述受检物是否良好。
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