[发明专利]探针顶端的检测方法、校准方法及存储介质和探针装置

权利要求书

1.一种探针顶端的检测方法，其特征在于：

其是利用校准机构和负荷传感器在检测出所述探针顶端的水平方 向的位置之前，检测出设置在载置台的上方的多个所述探针的顶端高 度的方法，其中，

所述校准机构具备：校准桥；设置在所述校准桥上的拍摄被检查 体的第一摄像装置、设置在载置所述被检查体的可移动所述载置台上 的且对配置在所述载置台的上方的多个探针进行摄像的第二摄像装 置、以及安装在所述校准桥的端部的销；

所述负荷传感器，其设置于所述载置台的侧方且具有检测出规定 负荷的传感器部，所述传感器部具有弹簧和负荷承受部，当通过所述 探针或者所述销与所述负荷传感器接触，所述传感器部受到所述规定 负荷时，其所述负荷承受部借助所述弹簧移动，

该方法包括：

利用所述第一摄像装置检测出设置在所述载置台上的所述负荷传 感器的高度的第一工序；和

通过所述载置台使所述负荷传感器移动而使所述负荷传感器与所 述探针接触，根据直至所述负荷传感器的所述传感器部检测出所述规 定负荷时的所述载置台的移动量检测出所述探针的顶端的高度的第二 工序，

并且设置以下工序：在所述第一工序和第二工序之间，借助所述 载置台使所述负荷传感器移动，通过所述负荷承受部与所述销接触而 弹性地移动来确认所述负荷传感器的操作。

2.如权利要求1所述的探针顶端的检测方法，其特征在于：

在所述第一工序之前，使用所述第二摄像装置检测出所述销的高 度。

3.如权利要求1～2中任一项所述的探针顶端的检测方法，其特征 在于：

具有使用所述第一摄像装置再检测所述负荷传感器的高度的工 序。

4.一种校准方法，其特征在于：

其是一种利用校准机构和负荷传感器对被检查体和设置在载置台 的上方的多个探针进行定位的校准方法，其中，

所述校准机构具备：校准桥；设置在所述校准桥上拍摄被检查体 的第一摄像装置、设置在载置所述被检查体的可移动的所述载置台上 的且对配置在所述载置台的上方的多个探针进行摄像的第二摄像装 置、以及安装在所述校准桥的端部的销；

所述负荷传感器，其设置于所述载置台的侧方且具有检测出规定 负荷的传感器部，所述传感器部具有弹簧和负荷承受部，当通过所述 探针或者所述销与所述负荷传感器接触，所述传感器部受到所述规定 负荷时，其所述负荷承受部借助所述弹簧移动，

该方法包括：

利用所述第一摄像装置检测出设置在所述载置台上的所述负荷传 感器的高度的第一工序；

通过所述载置台使所述负荷传感器移动而使所述负荷传感器与所 述探针接触，根据直至所述负荷传感器的所述传感器部检测出所述规 定负荷时的所述载置台的移动量检测出所述探针的顶端高度的第二工 序；和

根据所述探针的顶端高度使所述载置台移动，通过利用所述第二 摄像装置聚焦于所述探针的顶端而检测出所述探针的顶端的水平方向 的位置的第三工序，

并且设置以下工序：在所述第一工序和第二工序之间，借助所述 载置台使所述负荷传感器移动、并通过所述负荷承受部与所述销接触 而弹性地移动来确认所述负荷传感器的操作。

5.如权利要求4所述的校准方法，其特征在于：

在检测出所述负荷传感器的高度之前，借助所述载置台使所述负 荷传感器移动、并通过所述负荷承受部与所述销接触而弹性地移动来 确认所述负荷传感器的操作。

6.如权利要求5所述的校准方法，其特征在于：

在确认所述负荷传感器的操作之前，使用所述第二摄像装置检测 出所述销的高度。

7.如权利要求4或6所述的校准方法，其特征在于：

具有使用所述第一摄像装置再检测所述负荷传感器的高度的工 序。