[发明专利]感放射线性树脂组合物、间隔物及其形成方法有效

专利信息
申请号: 200710105178.2 申请日: 2007-05-24
公开(公告)号: CN101078879A 公开(公告)日: 2007-11-28
发明(设计)人: 浜口仁;杉龙司;久间俊平;志保浩司;松田健太朗 申请(专利权)人: JSR株式会社
主分类号: G03F7/004 分类号: G03F7/004;G03F7/028;G03F7/00;G02F1/1339
代理公司: 中国专利代理(香港)有限公司 代理人: 孙秀武;李平英
地址: 日本*** 国省代码: 日本;JP
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摘要:
搜索关键词: 放射 线性 树脂 组合 间隔 及其 形成 方法
【权利要求书】:

1.间隔物形成用感放射线性树脂组合物,其特征在于,含有

(A)嵌段共聚物,其中该嵌段共聚物含有分别含无规共聚物的2个 嵌段链段,所述2个嵌段链段是通过一次聚合而生成的第1嵌段链段和通 过二次聚合附加在第1嵌段链段上的第2嵌段链段,在其中至少1个链段 上含有碱可溶性部位、

(B)聚合性不饱和化合物、

(C)感放射线性聚合引发剂。

2.权利要求1的感放射线性树脂组合物,其还含有(D)含有环氧基 的化合物。

3.权利要求1的感放射线性树脂组合物,其含有羧基作为碱可溶性 部位。

4.权利要求1~3任一项所述的感放射线性树脂组合物,其中上述 (A)嵌段共聚物至少含有第1嵌段链段和第2嵌段链段,上述第1嵌段 链段含有a1以及a2,上述第2嵌段链段仅含有上述a1或a2,

其中,a1是选自具有自由基聚合性的不饱和羧酸、不饱和羧酸酐、 以及这些羧酸的保护化物中的至少一种,

a2是a1之外的自由基聚合性化合物。

5.权利要求1所述的感放射线性树脂组合物,其中(A)嵌段共聚物 是通过活性自由基聚合获得的物质。

6.权利要求1所述的感放射线性树脂组合物,其中嵌段共聚物(A) 是将下述式(4)~(28)所示的化合物作为分子量控制剂将聚合性不饱和 化合物聚合而制造的产物,

7.权利要求1所述的感放射线性树脂组合物,其中嵌段共聚物(A) 通过凝胶渗透色谱法测定的聚苯乙烯换算重均分子量(Mw)与聚苯乙烯 换算数均分子量(Mn)之比(Mw/Mn)为2.5以下。

8.由权利要求1~7任一项所述的感放射线性树脂组合物形成的间 隔物。

9.间隔物的形成方法,其特征在于具有下述(1)~(4)的工序,

(1)在基板上形成权利要求1~7任一项所述的感放射线性树脂组 合物的覆膜的工序、

(2)对该覆膜的至少一部分曝光放射线的工序、

(3)将曝光后的覆膜显影的工序、

(4)加热显影后的覆膜的工序。

10.具有权利要求8的间隔物而成的液晶显示元件。

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