[发明专利]感放射线性树脂组合物、间隔物及其形成方法有效
申请号: | 200710105178.2 | 申请日: | 2007-05-24 |
公开(公告)号: | CN101078879A | 公开(公告)日: | 2007-11-28 |
发明(设计)人: | 浜口仁;杉龙司;久间俊平;志保浩司;松田健太朗 | 申请(专利权)人: | JSR株式会社 |
主分类号: | G03F7/004 | 分类号: | G03F7/004;G03F7/028;G03F7/00;G02F1/1339 |
代理公司: | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人: | 孙秀武;李平英 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 放射 线性 树脂 组合 间隔 及其 形成 方法 | ||
技术领域
本发明涉及感放射线性树脂组合物、间隔物及其形成方法。
背景技术
在液晶显示元件中,为了使2张透明基板间的间隔保持一定,一 直以来都使用具有规定粒径的玻璃珠、塑料小球等隔离粒子,这些隔 离粒子由于在玻璃基板等透明基板上随机地散布,因此如果在像素形 成区域内存在隔离粒子,则存在产生隔离粒子的映入现象、入射光被 散射、液晶显示元件的对比度降低的问题。
因此,为了解决这些问题,采用了通过光刻形成间隔物的方法。 该方法为在基板上涂布感放射线性树脂组合物,介由一定的掩模曝光 紫外线后进行显影,形成点状或线状的间隔物,由于能够仅在像素形 成区域以外的规定位置上形成间隔物,因此基本解决了上述问题。
在光刻中作为光源使用的水银灯所发出的放射线通常在436nm附 近(g线)、404nm附近(h线)、365nm附近(i线)、335nm附近、 315nm附近(j线)、303nm附近等显示强度很强的光谱,因此作为感 放射线性组合物构成成分的感放射线性聚合引发剂,通常选择使用在 这些强度很强的光谱的波长区域具有最大吸收波长的物质,大多数情 况下,从透明性的观点出发,使用在波长为i线以下的区域内具有最大 吸收波长的感放射线性聚合引发剂(参见日本特开2001-261761号公 报)。但是在以往已知的间隔物形成用感放射线性树脂组合物中,根 据所选择的感放射线性聚合引发剂,所形成的间隔物的剖面形状往往 为倒锥形(膜表面的边长长于基板侧的边长的倒梯形),成为在之后 的取向膜摩擦处理时间隔物发生剥离的原因。
而且,推测由从感放射线性树脂组合物所形成的液晶盒内永久膜 中溶出的杂质所导致的LCD显示的“烧屏”成为问题,期待能够形成 不出现“烧屏”的液晶盒内永久膜、以高的产品合格率制造LCD面板 的感放射线性树脂组合物。
另一方面,在由于压缩强度和外力导致变形后,如果过于重视恢 复原本液晶盒间隙的高的恢复力,则具有不能吸收外力,损伤或破坏 TFT和CF的问题。
另外,以往在粘合TFT板和CF板之后,为了缩短在真空中注入 液晶的填充工序时间,开发了一次性地滴加液晶将TFT板和CF板粘 合的新工序。但是,以往的间隔物具有变形量不充分、对于液晶滴加 工序的余地(margin)不足、产生故障的问题。
在液晶显示面板的制造中,从提高生产性、对应于大型画面的观 点出发,正在进行基板尺寸的大型化。基板尺寸经过300mm×400mm 的第一代、370mm×470mm的第二代、620mm×750mm的第三代、 960mm×1,100mm的第四代,目前处于主流地位的是1,100mm× 1,300mm的第五代。进而,今后基板尺寸还会大型化到1,500mm× 1,850mm的第六代、1,850mm×2,100mm的第七代、2,200mm×2,600mm 的第八代。
当基板尺寸为小型、例如370mm×470mm以下时、将感光性树脂 组合物滴加在基板的中央,利用旋涂法涂布。在该方法中,涂布需要 大量的感光性树脂组合物溶液,具有不能对应大型基板的缺点。
基板尺寸为960mm×1,100mm以下时,为了节省感光性树脂组合 物溶液,利用狭缝涂布&旋涂法进行涂布。该方法从细缝喷嘴中将感 光性树脂组合物溶液涂布在基板面上,之后旋转基板,从而形成均匀 的涂膜。该方法虽然对于节省溶液具有效果,但难以对应第五代以后 的基板尺寸。
从此背景出发,伴随着基板尺寸的大型化,开始使用狭缝口模涂 布机进行涂布。但是,采用狭缝口模涂布机时,易发生纹理不匀、模 糊不匀(モャムラ),基板输送臂或针、吸附垫的痕迹(针迹(ピン 跡))、基板端部的膜厚易发生不匀。
由该理由出发,在狭缝口模涂布法中,强烈需求膜厚均匀、没有 不匀的间隔物形成用感光性树脂组合物溶液。
发明内容
本发明是鉴于以上事实而完成的。因此本发明的目的在于提供可 以容易地形成高感度、高分辨率、且图案形状、压缩特性、摩擦耐性、 与透明基板的密合性等诸性能优异的图案状薄膜,抑制了LCD显示中 的烧屏的间隔物形成用感放射线性树脂组合物,由该组合物形成的间 隔物,以及其形成方法。
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