[发明专利]检查装置和检查方法

权利要求书

1.一种检查装置，其特征在于：

包括对被处理体进行检查的探针室、和沿着该探针室的侧面配置的装载室，所述装载室包括：载置收容多个所述被处理体的框体并且沿着所述侧面相互分离而配置的两个装载端口；和配置在这些装载端口之间并且在这些装载端口与所述探针室之间搬送所述被处理体的搬送机构，其中，所述各装载端口分别沿着所述框体的自动搬送装置的搬送路径配置。

2.如权利要求1所述的检查装置，其特征在于：

所述装载端口具有转换所述框体的方向的方向转换机构。

3.如权利要求1或2所述的检查装置，其特征在于：

在所述装载端口中设置有检测从所述框体中露出的所述被处理体的传感器。

4.如权利要求3所述的检查装置，其特征在于：

在所述装载端口中设置有将从所述框体中露出的所述被处理体推入所述框体内的推压部件。

5.如权利要求2所述的检查装置，其特征在于：

所述框体具有将所述被处理体的搬入搬出口密闭的盖体，所述装载端口具有对通过所述方向转换机构与所述搬送机构相对的所述框体的盖体进行开关的开关机构。

6.一种检查装置，其特征在于：

包括对被处理体进行检查的探针室、和沿着该探针室的侧面配置的装载室，所述装载室包括：载置收容多个所述被处理体的带盖体的框体并且沿着所述侧面相互分离而配置的两个装载端口；和配置在这些装载端口之间并且在这些装载端口与所述探针室之间搬送所述被处理体的搬送机构，其中，所述各装载端口分别具有转换所述框体的方向的方向转换机构、和对通过该方向转换机构与所述搬送机构相对的所述框体的盖体进行开关的开关机构。

7.如权利要求6所述的检查装置，其特征在于：

所述装载端口沿着所述框体的自动搬送装置的搬送路径配置。

8.如权利要求1或6所述的检查装置，其特征在于：

在所述两个装载端口中的至少任一个装载端口的下方设置有进行所述被处理体的定位的定位机构。

9.如权利要求8所述的检查装置，其特征在于：

在所述定位机构的附近设置有识别所述被处理体的识别装置。

10.如权利要求8所述的检查装置，其特征在于：

在所述两个装载端口中的另一个装载端口的下方设置有在上下方向具有多层用于保持同一尺寸的基板的保持部的收纳体。

11.如权利要求10所述的检查装置，其特征在于：

所述保持部具有检测有无所述基板的传感器。

12.如权利要求1或6所述的检查装置，其特征在于：

所述搬送机构包括第一升降驱动机构和第二升降驱动机构两种升降驱动机构。

13.如权利要求12所述的检查装置，其特征在于：

所述第一升降驱动机构包括气缸，所述第二升降驱动机构包括电动机。

14.如权利要求5或6所述的检查装置，其特征在于：

所述方向转换机构具有载置所述框体的载置部和使该载置部旋转的旋转体，所述框体内的所述被处理体的中心被配置在与所述旋转体的中心仅偏离规定尺寸的位置，利用所述旋转体，所述载置部进行偏心旋转。

15.如权利要求14所述的检查装置，其特征在于：

在所述旋转体旋转从而所述框体的盖体与所述开关机构相对时，所述框体仅向所述开关机构的开关位置接近所述规定尺寸。

16.如权利要求14所述的检查装置，其特征在于：

所述旋转体构成为能够旋转90°。

17.一种检查方法，使用检查装置对被处理体进行检查，所述检查装置包括对所述被处理体进行检查的探针室、和沿着该探针室的侧面配置的装载室，所述装载室具有载置收容多个所述被处理体的框体并且沿着所述侧面相互分离而配置的两个装载端口，其特征在于：

在对载置在所述一个装载端口中的所述框体内的被处理体进行检查的期间，在沿着沿所述装载室的侧面配置的搬送路径移动的自动搬送装置与所述另一个装载端口之间进行所述框体的交接。