[发明专利]固定装置及其控制方法

权利要求书

1.一种固定装置，所述固定装置包括：

一个支撑板，其用以支撑基板；

多个夹具，其分别包括一个永磁铁、多个抵片、一个电线圈及一个铁芯；所述永磁铁与所述电线圈相对设置，所述铁芯设置于所述电线圈中心的延伸方向上且该铁芯与所述多个抵片保持同步运动；所述电线圈通电后，所述铁芯及所述多个抵片受所述电线圈所产生的磁力的作用而沿一定方向移动，且当所述铁芯移动并穿过所述电线圈的中心时，将使所述电线圈产生反相电动势；所述永磁铁在所述多个抵片移动到确定位置后将所述多个抵片吸附；

一个第一控制单元，其电连接于所述电线圈，所述第一控制单元包括一个脉冲宽度调制(PWM)控制器，所述脉冲宽度调制(PWM)控制器通过编程而控制所述多个夹具的夹持力的大小；

一个第二控制单元，其用于根据检测所述电线圈上产生的反相电动势而判断所述多个夹具夹持所述基板是否到达预定位置。

2.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述多个夹具进一步分别包括一个固定块、多条导轨；所述多个抵片及所述铁芯固连于所述固定块上，所述固定块线性滑动在所述多条导轨上并带动所述多个抵片及所述铁芯沿一定方向移动。

3.如权利要求2所述的固定装置，其特征在于，所述多个夹具进一步分别包括一个阻挡块，所述阻挡块固连于所述多条导轨的边缘以防止所述固定块滑出所述多条导轨。

4.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第二控制单元包括一个采样信号发射器、一个采样信号接收器及一个开关控制器；所述采样信号发射器于所述脉冲宽度调制控制器输出脉冲信号为零的阶段发射采样信号以检测所述电线圈是否产生一个可被检测的反相电动势，并在检测到该反相电动势时发射一个反馈信号给所述采样信号接收器，同时由所述开关控制器控制所述电线圈断电。

5.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述支撑板上表面之边缘部设置有定位销，所述定位销与所述多个夹具将基板固定于所述支撑板上。

6.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述支撑板的上表面设置有对应于所述多个夹具的多个通孔，其用于容纳所述多个夹具。

7.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述固定装置还包括一个隔热层，其设置于所述支撑板远离基板的一侧并接近于所述电线圈，以防止所述电线圈通电时产生的热量向基板扩散。

8.如权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述固定装置还包括一个时序控制器，其用于控制所述多个夹具夹持所述基板的时间及顺序。

9.一种采用如权利要求1所述的固定装置的固定装置控制方法，其包括步骤：

所述脉冲宽度调制(PWM)控制器输出一列正向脉冲信号控制所述电线圈驱动所述铁芯穿向所述电线圈，同时由与所述铁芯相连的固定块带动所述多个抵片朝接近所述永磁铁的方向运动；

所述抵片运动至预定位置，所述永磁铁将所述夹具的多个抵片吸附；

所述铁芯停止运动，所述电线圈产生一个可被检测的反相电动势；

所述第二控制单元检测所述可被检测的反相电动势，并控制所述电线圈断电。

10.如权利要求9所述的固定装置控制方法，进一步包括步骤：

所述脉冲宽度调制(PWM)控制器输出一列反向脉冲信号控制所述电线圈对所述铁芯产生一个反向推力并由该反向推力推动所述抵片与所述永磁铁分离。