[发明专利]薄膜图案层的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种薄膜图案层的制造方法。

背景技术

目前，喷墨法在制造薄膜图案层中越来越广泛。在喷墨法中，使用喷墨装置在已形成挡墙的玻璃基板上喷墨，干燥墨水形成薄膜图案层。

请参阅图14及图15，为一个基板120的示意图。基板120上具有多个挡墙122，所述多个挡墙122与所述基板120限定多个收容空间124。每一行收容空间124沿着X轴排布，每一列收容空间124沿着Y轴排布，每相邻两行收容空间124之间的间隔为d。

请参阅图16，喷墨头900中相邻喷嘴902与904的间距为d。在现有技术中，在喷嘴902沿着第一路线312喷墨后，喷墨头900沿着Y轴负方向移动距离d，从而喷嘴904沿着第一路线312的反方向喷墨。

然而，喷嘴902及904对同一个收容空间124喷墨时，前后两次喷墨路线基本上重叠。故墨水在收容空间124内难以均匀扩散，墨水干燥后形成的薄膜图案层往往厚度不均匀。

发明内容

有鉴于此，有必要提供一种能提高均匀度的薄膜图案层的制造方法。

一种薄膜图案层的制造方法，其包括以下步骤：提供一个基板，所述基板具有多个挡墙，所述多个挡墙与所述基板限定多个收容空间，每一个收容空间具有相互平行的第一侧边及第二侧边，第一侧边与第二侧边的距离为b，该多个收容空间形成沿着平行于第一侧边及第二侧边的方向排布的多个行，及沿着垂直于第一侧边方向排布的多个列，每相邻两行收容空间的第一侧边之间的间隔为d；提供第一喷嘴与第二喷嘴，该第一、第二喷嘴的中心连线相对该第一侧边倾斜设置，且该第一、第二喷嘴之间的间距在垂直于第一侧边的方向上的投影等于d；该第一喷嘴沿着第一路线移动，该第一路线位于一个待处理的收容空间的第一侧边与第二侧边之间，与该第一侧边平行，且距离为a；该第一喷嘴对该收容空间喷入墨水；该第二喷嘴沿着第二路线移动，该第二路线与该第一路线平行且方向相反，该第二路线与该第一路线的距离c符合以下两个关系式之一：0＜c＜b-a，及0＜c＜a；该第二喷嘴对该收容空间喷入墨水；干燥固化收容空间的墨水而形成薄膜图案层。

相较于现有技术，上述薄膜图案层的制造方法中不同喷嘴将墨水喷到同一个收容空间的不同位置，从而促使墨水在同一个收容空间中更加均匀地分布，进而提高薄膜图案层的均匀度。

附图说明

图1至图10为本发明第一实施例之薄膜图案层制造方法示意图，其中：

图1为基板俯视图；

图2为图1所示基板沿着直线II-II的剖视图；

图3至图6为喷墨步骤之示意图；

图7至图8为另一喷墨步骤之示意图；

图9为形成颜色层之基板剖视图；

图10为形成有导电层之基板剖视图；

图11为本发明第二实施例之喷墨步骤示意图；

图12为本发明第三实施例之喷墨步骤示意图；

图13为本发明第四实施例之喷墨步骤示意图；

图14为现有技术中一个基板的俯视图；

图15为图14所示基板沿着直线XV-XV的剖视图；

图16现有技术中喷墨步骤之示意图。

具体实施方式

下面将结合附图对本发明实施例作进一步之详细说明。

请一起参阅图1到图10，系本发明第一实施例提供之一种薄膜图案层的制造方法示意图，该方法之步骤如下：

步骤一：提供一基板100，如图1及图2所示。基板100上具有多个挡墙102，所述多个挡墙102与所述基板100限定多个收容空间104。每一行收容空间104沿着X轴排布，每一列收容空间104沿着Y轴排布，每相邻两行收容空间104之间的间隔为d，每一个收容空间104具有相互平行的第一侧边110及第二侧边112，两侧边之间间隔为b，即收容空间104在Y轴上的宽度为b。本实施例中，基板100之材料选用玻璃。当然，基板材料也可选用石英玻璃、硅晶圆、金属或塑料等。

步骤二：如图3所示，提供一个喷墨头300，喷墨头300至少包含有第一喷嘴302及第二喷嘴304，喷嘴302及304沿着Y轴排列，喷嘴302及304在Y轴(即与列印方向垂直的方向)的投影间隔亦为d。下面以收容空间104为例，对喷墨头300对收容空间104喷墨过程进行描述。喷墨头300沿着第一路线306移动，第一路线306是沿着X轴正方向，第一路线306与第一侧边110的距离为a。当第一喷嘴302移动到收容空间104的位置时，第一喷嘴302对收容空间104喷墨。喷墨头300可选用热泡式或压电式。