[发明专利]偏心量测定方法

权利要求书

1、一种偏心量测定方法，其特征在于，

在能够以规定的轴为中心而旋转的基台上设置被检光学元件，对该被设置的被检光学元件的被检面，通过包含规定形状的指标的测定用光学系统，照射来自光源的光，将来自该被检面的反射光或透过光导向成像面上，并使设置于该基台上的被检光学元件以所述规定的轴为中心而旋转，并对借助于该反射光或透过光而在该成像面上形成的所述指标的像的移动轨迹进行观察，从而测定所述被检面的偏心量，

所述规定形状的指标是大致十字形状的分度线，

在所述基台上设置所述被检光学元件，

使所述测定用光学系统和所述被检面沿该测定用光学系统的光轴方向相对地移动，并进行调整，以便使来自所述被检面的反射光或透过光在所述成像面上成像，

对于在所述成像面上成像的大致十字形状的像，求算相互以大致以同一方向延伸的两条第1线上的光强度分布，并将该第1线的各线上的最大强度位置作为A点和B点，并对与该两条的第1线相交叉且相互在大致同一方向上延伸的两条第2线上的光强度分布进行求算，并将该第2线的各线上的最大强度位置作为C点和D点，其中所述第1线和所述第2线是与十字形状的分度线平行的两组平行线，

接下来，将连接所述A点和所述B点的直线作为第3线，并将连接所述C点和所述D点的直线作为第4线，

对所述第3线和所述第4线的交点进行特定，

并基于该交点确定所述分度线像的中心点R，

其后，每当通过使所述基台以规定角度旋转而使所述被检光学元件以所述轴为中心而旋转时，确定其旋转位置中的所述分度线像的中心点R，

接下来，基于所确定的这些多个中心点R而特定中心点轨迹圆，

求算该中心点轨迹圆的直径，

基于该所求得的直径，对所述被检面的偏心量进行求算。

2、根据权利要求1所述偏心量测定方法，其特征在于，

所述分度线像的中心点R是所述交点的位置。

3、根据权利要求1所述偏心量测定方法，其特征在于，

所述分度线像的中心点R，是通过对以所述交点的位置为中心的规定区域内的各像素点的光强度进行加权平均处理而特定的重心位置。