[发明专利]偏心量测定方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种测量透镜等光学元件的被检面的偏心量的偏心量测定方法。

背景技术

作为透镜的评价和检查的重要项目，存在透镜面的偏心量的测定。

透镜面的偏心量，通过该透镜面的曲率中心和它们的中心轴之间的错位量而表示。

作为这种偏心量的测定方法，公知由下述的专利文献1所公开的被称作“自动准直”的方法。例如，图8所示的偏心测定装置为用于自动准直的反射式的偏心测定方法而提供的装置，其备有：将被检透镜(球面透镜)110以其中心轴为中心可旋转地设置的基台122；光源111；来自光源111的光透过的指标板(针孔：pinhole)112；使光沿光轴照射到被检透镜110的测定用光学系统131；以及用于观察来自被检透镜110的光的摄像机构。

上述测定用光学系131，备有：将从光源111射出并透过指标(指標)板112的光以大致直角反射的光束分束器113；使来自光束分束器113的光成为平行光束的准直透镜114；将该平行光会聚在被检透镜的近轴焦点的物镜透镜115。另外，上述摄像机构，由备有对透过上述光束分束器113后而来自被检透镜110的光进行观测的摄像面的CCD摄像机121所构成。

在使用上述偏心测定装置而进行偏心量测定时，借助于测定用光学系统131，使透过指标板112后的来自光源110的光，照射到被检透镜110。

此时，通过移动物镜透镜115的光会聚位置P，而使光会聚位置P与被检透镜110的被检面(上表面)的曲率中心一致。入射到被检透镜110的被检面的光，可视为与从该被检面的曲率中心发光的光等同，因此从被检面，与入射路径相逆地而进行反射。该反射，透过光束分束器113而入射到CCD摄像机121。此后，若一边使基台122旋转，一边观测来自被检透镜110的反射像，则在存在偏心的情况下，针孔的像的轨迹描画为圆，并能够通过计测该圆的半径而求算被检透镜110的偏心量。

这里，关于被检透镜110，与上方被检面相反方向的下方被检面(设置面)被支撑于基台上。由于该下方被检面也是球面，因此，即使基本地将被检透镜110在基台122上错位，也不能够变化下方被检面的曲率中心的位置。因此，在这种偏心测定装置中，将所得到的偏心量测定值，原样作为关于被检面的最终的偏心量。

〔专利文献1〕特开2005-55202号公报

然而，为了利用上述方法求算被检透镜110的偏心量，而必须特定由针孔的像的轨迹所形成圆的半径，但是由于该针孔的像具有某种程度的面积，因此，难于特定正确的圆的半径。例如，图9示出了基于来自上述上方被检面或上述下方被检面的反射光引起的在摄像面上的针孔的像形成为圆形的样子，但是难于特定针孔的像的哪个位置是其中心，因此难于寻求偏心量测定精度的提高。

本发明针对上述情形而提出，其目的为提供一种偏心量的测定方法，其使用适用自动准直法，使被检测光学元件旋转的情况下，基于指标的像的中心点形成的圆，而测定被检测面的偏心量，并通过简易的构成而寻求测定精度的大幅度提高。

发明内容

为解决上述课题的本发明所涉及的偏心量测定方法的特征在于，

在能够以规定的轴为中心而旋转的基台上设置被检光学元件，对该被设置的被检光学元件的被检面，通过包含规定形状的指标的测定用光学系统，照射来自光源的光，将来自该被检面的反射光或透过光导向成像面上，并使设置于该基台上的被检光学元件以所述规定的轴为中心而旋转，并对借助于该反射光或透过光而在该成像面上形成的所述指标的像的移动轨迹进行观察，从而测定所述被检面的偏心量，

所述规定形状的指标是大致十字形状的分度线，

在所述基台上设置所述被检光学元件，

使所述测定用光学系统和所述被检面沿该测定用光学系统的光轴方向相对地移动，并进行调整，以便使来自所述被检面的反射光或透过光在所述成像面上成像，

对于在所述成像面上成像的大致十字形状的像，求算相互以大致以同一方向延伸的两条第1线上的光强度分布，并将该第1线的各线上的最大强度位置作为A点和B点，并对与该两条的第1线相交叉且相互在大致同一方向上延伸的两条第2线上的光强度分布进行求算，并将该第2线的各线上的最大强度位置作为C点和D点，其中所述第1线和所述第2线是与十字形状的分度线平行的两组平行线，接下来，将连接所述A点和所述B点的直线作为第3线，并将连接所述C点和所述D点的直线作为第4线，

对所述第3线和所述第4线的交点进行特定，并基于该交点确定所述分度线像的中心点R，