[发明专利]导电接触探头保持器有效
| 申请号： | 200710108930.9 | 申请日： | 2003-04-16 |
| 公开（公告）号： | CN101059532A | 公开（公告）日： | 2007-10-24 |
| 发明（设计）人： | 风间俊男 | 申请（专利权）人： | 日本发条株式会社 |
| 主分类号： | G01R1/06 | 分类号： | G01R1/06;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 | 代理人： | 李辉 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 导电 接触 探头 保持 | ||
【权利要求书】：
1、一种导电接触探头保持器，其用于按并列设置的状态支承用于接触物体的多个接触单元，该导电接触探头保持器包括：
基板部件，由第一材料制成并且其中设有一开口；以及
保持器孔形成部件，由第二材料制成并以基本上不向所述开口的外面延伸的方式填充在所述开口中；
多个保持器孔，贯穿所述保持器孔形成部件的厚度，每个所述保持器孔都用于在其中容纳一接触单元，
其中，在所述开口的内周面上形成有接合部，以接合所述保持器孔形成部件。
2、根据权利要求1所述的导电接触探头保持器，其中，所述基板部件由硅晶片制成，并且所述接合部包括通过各向异性刻蚀所述开口的所述内周面而形成的朝向内部的脊。
3、一种导电接触探头保持器，用于按并列设置的状态支承用于接触物体的多个接触单元，该导电接触探头保持器包括：
基板部件，由第一材料制成并且其中设有一开口；以及
保持器孔形成部件，由第二材料制成并以基本上不向所述开口的外面延伸的方式填充在所述开口中；
多个保持器孔，贯穿所述保持器孔形成部件的厚度，每个所述保持器孔都用于在其中容纳一接触单元，
其中，邻近其内填充有所述保持器孔形成部件的所述开口形成有消除应力开口。
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