[发明专利]印刷抗蚀剂及其制备方法和利用该印刷抗蚀剂的图案化方法

权利要求书

1.一种印刷抗蚀剂，所述印刷抗蚀剂在施加到印辊上之后依次转印 到印刷板和基板上，其中所述印刷抗蚀剂包含至少一种共聚物，所述共 聚物含有任意一种由下式1’至5’表示的重复单元，

其中1≤k1≤10，并且0≤m1≤10；

其中1≤k2≤10，并且0≤m2≤10；

其中1≤k3≤10，并且1≤m3≤10；

其中1≤k4≤10，并且1≤m4≤10；和

其中1≤k5≤10，并且1≤m5≤10。

2.如权利要求1所述的印刷抗蚀剂，所述印刷抗蚀剂还包含挥发性 溶剂。

3.如权利要求2所述的印刷抗蚀剂，其中所述挥发性溶剂为甲醇、 乙醇或异丙醇。

4.如权利要求1所述的印刷抗蚀剂，所述印刷抗蚀剂还包含表面活 性剂。

5.如权利要求4所述的印刷抗蚀剂，其中所述表面活性剂为 CF₃(CF₂)₄(CH₂CH₂O)₁₀或CF₃(CF₂)₅(CH₂CH₂O)₁₄。

6.一种印刷抗蚀剂的制备方法，所述印刷抗蚀剂包含共聚物，所述 共聚物含有任意一种由下式1’至5’表示的重复单元，

其中1≤k1≤10，并且0≤m1≤10；

其中1≤k2≤10，并且0≤m2≤10；

其中1≤k3≤10，并且1≤m3≤10；

其中1≤k4≤10，并且1≤m4≤10；和

其中1≤k5≤10，并且1≤m5≤10，

所述方法包括：

将选自间甲酚、对甲酚、结合至乙烯基的间甲酚和结合至乙烯基的 对甲酚的一种化合物与选自结合至乙烯基的间甲酚和结合至乙烯基的对 甲酚的一种化合物混合；和

对所述甲酚混合物进行共聚。

7.如权利要求6所述的方法，其中通过使间甲酚与丁二烯反应合成 所述结合至乙烯基的间甲酚，通过使对甲酚与丁二烯反应合成所述结合 至乙烯基的对甲酚。

8.如权利要求6所述的方法，其中通过使所述甲酚混合物与甲醛反 应进行共聚。

9.一种形成图案的方法，所述方法包括：

对表面配置有覆层的印辊施加如权利要求1至5任一项所述的印刷 抗蚀剂；

在印刷板上转动所述印辊，从而将所述印刷抗蚀剂部分地转印到所 述印刷板上；

在形成图案层的基板上转动所得印辊，从而将残留的印刷抗蚀剂转 印到所述基板上；

对所述基板进行热处理；

蚀刻所述图案层；和

从所述基板上除掉所述印刷抗蚀剂。

10.如权利要求9所述的方法，其中所述覆层由聚二甲基硅氧烷制 成。

11.如权利要求9所述的方法，其中所述热处理在大于或等于150℃ 的温度进行。