[发明专利]用于晶片的夹紧装置

权利要求书

1.用于将晶片(150)可松开地固定在可移动的晶片台(125)上 的夹紧装置，它具有

·支承元件(130、230、330)，

·固定的夹紧元件(131、231a)，该夹紧元件(131、231a)布 置在所述支承元件(130、230、330)上，

·可移动的夹紧元件(160、360)，该可移动的夹紧元件(160、 360)同样布置在所述支承元件(130、230、330)上，并且该 可移动的夹紧元件(160、360)构造成在打开位置和关闭位置 之间移动，其中当该可移动的夹紧元件(160、360)处于关闭 位置中时，晶片(150)在固定的夹紧元件(131、231a)和可 移动的夹紧元件(160、360)之间夹紧，

·弹簧元件(365)，该弹簧元件(365)如此地同所述可移动的 夹紧元件(160、360)耦连，使得可移动的夹紧元件(160、 360)朝着关闭位置的方向被预紧；

·滑移元件(370)，该滑移元件(370)相对于所述支承元件(130、 230、330)可移动地被支承，

·柔韧的力传递元件(375)，该力传递元件(375)同滑移元件 (370)及可移动的夹紧元件(361)连接，

·固定的接触元件(380)，

当支承元件(130、230、330)朝着使晶片取出的位置移动时，所 述滑移元件(370)相对于所述支承元件(130、230、330)朝着使晶 片取出的位置滑动，所述柔韧的力传递元件(375)将所述可移动的夹 紧元件(160、360)从关闭位置移动到打开位置，固定的接触元件(380) 被用来连接所述滑移元件(370)和可移动的夹紧元件(160、360)以 将可移动的夹紧元件(160、360)保持在打开位置中。

2.根据权利要求1所述的夹紧装置，附加地具有其他固定的夹紧 元件(231b)，所述其他固定的夹紧元件(231b)同样布置在所述支 承元件(130、230、330)上，其中当所述可移动的夹紧元件(160、 360)处于关闭位置中时，晶片(150)在固定的夹紧元件(131、231a)、 所述其他的固定的夹紧元件(231b)和可移动的夹紧元件(160、360) 之间夹紧。

3.根据权利要求1或2所述的夹紧装置，在该夹紧装置中，所述 支承元件是框架(130、230、330)。

4.根据权利要求3所述的夹紧装置，在该夹紧装置中，所述支承 元件(130、230、330)具有空隙(235)，所述可移动的夹紧元件(160、 360)安放在该空隙(235)中。

5.根据权利要求1或2所述的夹紧装置，在该夹紧装置中，所述 可移动的夹紧元件(160、360)在旋转轴线(362)内可摆动地被支承， 并借助于摆动运动(364)在关闭位置和打开位置之间移动。

6.根据权利要求5所述的夹紧装置，在该夹紧装置中，所述旋转 轴线(362)平行于所述支承元件(130、230、330)的支承面而延伸。

7.根据权利要求1所述的夹紧装置，所述力传递元件是柔韧的带 子(375)。

8.根据权利要求7所述的夹紧装置，所述柔韧的带子(375)具 有尼龙纤维。

9.供给设备(120)，用于将处在晶片(150)中的未包装的元器 件(155)输送到取下位置(110)，该供给设备(120)具有

·晶片台(125)，

·第一驱动装置(126)，用于对所述晶片台(125)进行定位，

·根据权利要求1到8中任一项所述的夹紧装置。

10.根据权利要求9所述的供给设备，附加地具有第二驱动装置 (128)，用于使夹紧装置相对于晶片台(125)进行定位，其中所述 第一驱动装置(126)用于使该晶片台(125)沿着滑移方向(127)一 维地进行定位。