[发明专利]软模的制造装置以及使用该装置制造软模的方法

权利要求书

1.一种制造软模的方法，包括：

制备包括至少一个图案的主板；

在所述主板上的至少一个图案上方设置树脂层；

在腔室中的台架上放置上面具有树脂层的主板，在所述腔室中背板设置在所述台架上方；

通过向左、向右或者向前、向后移动所述台架而将所述主板与所述背板对准；

相对于所述背板移动所述台架，从而在基本真空的环境下使所述背板与树脂层接触；

固化与所述背板接触的树脂层；以及

相对于所述背板移动所述台架，从而将固化的树脂层与所述主板分离。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述至少一个图案包括凸起图案、下凹图案或者其组合中的一种。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，还包括吹入惰性气体以在使背板与树脂层接触之后去除所述基本真空的环境。

4.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，在所述固化和分离工序期间保持所述基本真空的环境。

5.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述主板由硅形成并且所述凸起图案由硅、金属材料、光刻胶材料、蜡、硅氮化合物和硅石的其中之一形成。

6.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述树脂层在该树脂层的固化之前包括液相聚合物。

7.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述设置树脂层包括旋转涂覆方法和狭缝涂覆方法其中之一。

8.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述固化包括向所述树脂层照射光。

9.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，使所述背板与树脂层接触还包括向所述背板的表面施加粘合剂。

10.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，从所述主板去除所述树脂层留下对应于所述主板上的至少一个图案的至少一个相对图案。

11.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述树脂层包括聚氨酯丙烯酸酯、丙烯酸缩水甘油酯以及甲基丙烯酸丁酯中的至少一种。

12.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，向所述树脂层中添加光引发剂。

13.一种用于制造软模的方法，包括：

提供具有凸起图案的主板；

在所述主板上的凸起图案上方设置树脂层；

在腔室中向可移动台架上插入具有树脂层的主板；

向所述背板上施加粘合剂材料；

通过向左、向右或者向前、向后移动所述台架而将所述主板与所述背板对准；

朝向所述背板移动具有主板的台架以使树脂层与具有粘合剂材料的背板接触，其中树脂层与背板的接触发生在所述腔室具有基本真空的环境下；

固化与所述背板接触的树脂层；以及

向下移动具有主板的台架，从而将固化的树脂层和背板与主板分离，其中所述软模包括固化的树脂层。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述固化树脂层包括向该树脂层施加紫外光。

15.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，还包括吹入惰性气体以在朝向背板移动具有主板的台架而使树脂层与背板接触之后去除所述基本真空的环境。

16.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述设置树脂层包括旋转涂覆方法或者狭缝涂覆方法中的一种。

17.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，将所述树脂层与主板分离留下对应于所述主板上的至少一个图案的至少一个相对图案。

18.一种制造软模的制造装置，包括：

腔室；

设置在腔室中的背板，其中所述背板通过与腔室连接的至少一个夹具以及与该至少一个夹具连接并且设计用于稳定所述背板的至少一个固定单元而设置在所述腔室内；

设计用于制造具有多个图案的软模的主板，所述主板包括多个形成在主板上的图案；

位于腔室内并且设计用于容纳主板的台架，其中所述台架设计为朝向所述背板移动，从而在所述腔室具有基本真空的环境的同时，由于所述台架的运动以使背板与主板上的树脂层粘接；以及

设置在所述主板上的树脂层。