[发明专利]基板清洗装置、基板清洗方法以及基板的制造方法

说明书

技术领域

本发明是关于一种清洗平板显示(Flat Panel Display)装置用的面板基板等的基板清洗装置、基板清洗方法以及使用这些基板清洗装置及基板清洗方法的基板制造方法，本发明尤其关于一种使用刷子(brush)且对于清洗大型基板较好的基板清洗装置、基板清洗方法以及使用这些基板清洗装置及基板清洗方法的基板制造方法。

背景技术

在液晶显示装置或等离子显示装置等各种平板显示装置用的面板基板的制造工序中，利用显影或蚀刻等药液处理，在基板上形成电路图案或彩色滤光器(color filter)等。此时，如果在基板上存在污渍或异物，则无法良好地形成电路图案或彩色滤光器等，因此，在将基板送入制造工序时以及在药液处理之前或之后，必须清洗基板。包含基板的清洗以及药液处理的一系列处理，大多是一边使用滚筒式输送机(Roller Conveyor)等基板搬送机构来移动基板一边进行的。

基板的清洗，一般是使用清洗水(纯水)来冲洗基板上的污渍、异物、或药液等而进行的，但是，当污渍或异物较多时，或者特别期望较高的清洗力时，则使用刷子来机械地去除基板上的污渍或异物。作为一边移动基板一边使用刷子来清洗基板的技术，有专利文献1至专利文献3所揭示的技术。

[专利文献1]日本专利特开平10-337541号公报

[专利文献2]日本专利特开平10-307406号公报

[专利文献3]日本专利特开平11-128852号公报

基板随着近年来的平板显示装置的大画面化而大型化，因此必须使刷子与基板的宽度相应地变长。然而，如果使刷子变长，则刷子的自重会增加，从而使刷子产生弯曲。因此，刷子的旋转轴会偏向，而刷子接触于基板的压力会发生变动，从而导致无法均匀地清洗基板。

发明内容

本发明的课题在于以高清洗力均匀地清洗大型基板。而且，本发明的课题在于制造高品质的大型基板。

本发明的基板清洗装置具备：刷子，横跨基板的宽度而设，且一边旋转一边接触于基板；移动机构，使基板与刷子相对地移动；以及保持机构，保持刷子可向旋转轴的轴方向移动。而且，本发明的基板清洗方法是，横跨基板的宽度而设置刷子，使基板与刷子相对地移动，一边保持刷子可向旋转轴的轴方向移动一边使刷子旋转，并使刷子接触于基板。

由于是一边保持刷子可向旋转轴的轴方向移动一边使刷子旋转，所以即便刷子在旋转前产生弯曲，也可以在旋转过程中使刷子变位至旋转轴的轴方向上，从而消除刷子的弯曲。因此，可以防止刷子的旋转轴的偏向，使刷子接触于基板的压力固定。

进一步，本发明的基板清洗装置中，保持机构具有：轴承，支撑刷子的旋转轴；以及导向器，向刷子的旋转轴的轴方向引导轴承。而且，本发明的基板清洗方法，是利用轴承来支撑刷子的旋转轴，并利用导向器向刷子的旋转轴的轴方向引导轴承。利用使用了轴承及导向器的简单结构，可以保持刷子可向旋转轴的轴方向移动。但是，本发明并不限定于轴承及导向器，也可以使用其他机构来保持刷子可向旋转轴的轴方向移动。

进一步，本发明的基板清洗装置具备往返机构，该往返机构使刷子在旋转轴的轴方向上往返规定距离。而且，本发明的基板清洗方法，是使刷子在旋转轴的轴方向上往返规定距离。通过使刷子在旋转轴的轴方向上往返规定距离，而使刷子在基板的宽度方向上均匀地接触基板。

本发明的基板的制造方法，是使用上述任一基板清洗装置或者基板清洗方法来清洗基板后，进行规定的药液处理。以高清洗力来均匀地清洗大型基板，可以在基板上良好地形成电路图案或彩色滤光器等。

[发明的效果]

根据本发明的基板清洗装置及基板清洗方法，一边保持刷子可向旋转轴的轴方向移动一边使刷子旋转，并使刷子接触于基板，以此可以防止刷子的旋转轴的偏向，使刷子接触于基板的压力固定，因此能够以高清洗力来均匀地清洗大型基板。

进一步，根据本发明的基板清洗装置及基板清洗方法，利用轴承来支撑刷子的旋转轴，并利用导向器向刷子的旋转轴的轴方向引导轴承，以此可以利用简单的结构来保持刷子可向旋转轴的轴方向移动。

进一步，根据本发明的基板清洗装置及基板清洗方法，使刷子在旋转轴的轴方向上往返规定距离，以此可以使刷子在基板的宽度方向上均匀地接触于基板，因此能够更均匀地清洗大型基板。

根据本发明的基板的制造方法，能够以高清洗力来均匀地清洗大型基板，从而在基板上良好地形成电路图案或彩色滤光器等。因此，可以制造高品质的大型基板。

附图说明