[发明专利]高通量薄膜表征方法及其装置

权利要求书

1.一种高通量薄膜表征方法，其特征在于：其包括有以下步骤：

第一步，将包括两个或两个以上数量样本的待测薄膜置放于一一面开口的第一存储装置的开口上，其中所述薄膜与所述第一存储装置形成一个封闭的第一腔，其中薄膜的第一侧面对所述第一腔；

第二步，向所述封闭的第一腔内通入一种或多种预定气体；

第三步，将一探头置于所述待测薄膜的相对第二侧的上方并接近所述待测薄膜处进行所述两个或两个以上样本上方的气态物质采集；

第四步，分析采集到的气态物质以确定各检测样本的性能。

2.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：其还包括将所述待测薄膜的第二侧置于一第二存储装置的开口上，并与所述第二存储装置形成封闭的第二腔，所述探头置于所述第二腔内。

3.如权利要求2所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：其中所述第一腔与第二腔的形成也可以是通过将所述薄膜至于一收容空间内，并以其为界将该收容空间分割为互不联通的第一腔和第二腔。

4.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：可获得的待测薄膜的各样本的性能包括反应性能、催化性能及透气性能中的一种或多种。

5.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：所述探头收集到的气态物质包括一种或多种气体，其来源可以包括以下三种：第一种来源是，位于第一腔的一种或一种以上气态物质与薄膜样本发生反应后，其生成物穿过薄膜样本到达第二侧；第二种来源是，位于第一腔的两种或两种以上气态物质在薄膜样本的促使下发生反应后的生成物，穿过薄膜样本到达其第二侧；第三种来源是，位于第一腔的一种或者一种以上的气态物质穿过薄膜样本至其第二侧，或是其与位于薄膜样本第二侧的气态物质反应的产物。

6.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：所述探头采集气态物质的方式为：使用一个探头依次完成对薄膜的每一样本上方气态物质的采集。

7.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：所述探头采集气态物质的方式为：使用二个或以上的探头并行完成相应数量的薄膜样本上方气态物质的采集。

8.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：所述待测薄膜包括的两个或两个以上的待测样本的排列方式为连续排列方式。

9.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：所述待测薄膜包括的两个或两个以上的待测样本的排列方式为间隔排列方式。

10.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：所述待测薄膜包括的样本中包括有透氧膜样本。

11.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：其中所使用的所述探头内设置有第一通道、第二通道及喷嘴，所述第二通道的第一端开口与喷嘴相通，所述喷嘴将第一通道的第一端开口包围于其内，则此时所述喷嘴及第一通道的第一端开口位于所述待测样本的第一侧的上方，而所述第二通道的另一端则与一其内存储有第一气体的储气装置相连，所述第一通道的另一端与所述检测装置相连；采样时，存储于所述储气装置内的第一气体通过所述第二通道及喷嘴喷出，并在所述喷嘴与所述待测薄膜样本的第二侧之间形成一个封闭空间，且第一气体在一定程度上，其并不作为反应物或催化物被通入，其作用仅在于形成一个稳定的气态封闭空间。

12.如权利要求11所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：在所述第三步中，其还包括有抽气的步骤，其为抽走所述由第一气体形成的封闭空间周围的气体，进而加强所述封闭空间的封闭效果。

13.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：在所述第三步中，其还包括有加热的步骤，其为加热每一薄膜样本的预定区域至预定温度。

14.如权利要求1所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：其中每一薄膜样本包括有一层或多层支撑体层及其上设置的一层或多层致密层。

15.如权利要求14所述的高通量薄膜表征方法，其特征在于：其中所述致密层包括至少两层。