[发明专利]探测器的控制方法和控制程序有效
| 申请号： | 200710112456.7 | 申请日： | 2007-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN101097877A | 公开（公告）日： | 2008-01-02 |
| 发明（设计）人： | 大野泰一 | 申请（专利权）人： | 富士通株式会社 |
| 主分类号： | H01L21/66 | 分类号： | H01L21/66;G01R31/26;G01R31/28 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 | 代理人： | 赵淑萍 |
| 地址： | 日本神*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 探测器 控制 方法 控制程序 | ||
1.一种探测器控制方法，该探测器测试在半导体晶片上制造的多个半导体器件，所述探测器控制方法包括以下步骤：
从第一存储单元中取出需要测试的半导体晶片并且顺序地测试所述半导体晶片上的半导体器件，其中将被测试的多个半导体晶片被存储在所述第一存储单元中，
将已被测试的半导体晶片存储在第二存储单元中，以及
检测测试结果何时满足预先设定的测试条件，
其中，所述测试步骤和存储步骤被重复，
所述第二存储单元包含多个存储单元，并且
在所述存储步骤中，在所述检测的基础上，对其中存储所述半导体晶片的所述第二存储单元进行转换。
2.如权利要求1所述的探测器控制方法，还包括以下步骤：
检测测试结果何时满足预先设定的测试条件，
其中，在所述检测的基础上，所述半导体晶片的测试被中途中断。
3.如权利要求2所述的探测器控制方法，其中，所述测试条件是通过所述半导体器件测试的合格物品的数目。
4.如权利要求2所述的探测器控制方法，其中，如果在所述测试被中断时，所述半导体晶片上存在仍未被测试的半导体器件，则虚拟测试结果被指派给所述仍未被测试的半导体器件。
5.如权利要求2所述的探测器控制方法，其中，在所述检测的基础上，输出存储在所述第二存储单元中的半导体晶片的测试结果。
6.如权利要求1所述的探测器控制方法，其中，所述测试条件是已被测试的半导体晶片的数目。
7.如权利要求1所述的探测器控制方法，其中，所述测试条件是通过所述半导体器件测试的合格物品的数目。
8.如权利要求1所述的探测器控制方法，其中，在所述检测的基础上，输出存储在所述第二存储单元中的半导体晶片的测试结果。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
