[发明专利]基板输送装置

权利要求书

1.一种基板输送装置，其特征在于包括：

基板输送单元，其配置有隔开设置的多个输送辊，并且在所述输送辊上面以水平或倾斜的状态输送基板；

缓冲臂，其上面放置基板，且通过上/下移动从所述输送辊上承接基板或向所述输送辊移交基板；

支架，其具备将所述缓冲臂上/下移动的上/下移动驱动单元，并固定所述缓冲臂，使所述缓冲臂在能够移交或承接基板的状态下移动；

状态变换单元，其通过铰接方式连接所述缓冲臂和支架，并且产生旋转力，使所述缓冲臂以铰接部为基准进行旋转而改变其状态，

其中所述基板输送单元设置在支撑架上，所述支撑架与所述缓冲臂相对应的部分被切除。

2.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：

所述状态变换单元，在移交或承接基板时，使所述缓冲臂以相互平行状态位于所述输送辊的上方或下方；

将基板移交或承接之后，再将所述缓冲臂的状态改变为垂直状态，以便使之脱离所述输送辊的上方或下方。

3.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：

所述状态变换单元，将步进电动机、齿轮电动机、旋转气缸中的任意一种作为驱动源。

4.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：

所述上/下移动驱动单元，将连接在电机轴的螺杆或气缸所产生的动力传递给所述缓冲臂，以使所述缓冲臂进行上/下运动。

5.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：

所述状态变换单元，以铰接部为基准，沿上侧或下侧的旋转半径，旋转所述缓冲臂而改变其状态。

6.根据权利要求1所述的基板输送装置，其特征在于：

进一步包括用于调整两个支架之间距离的间距调整单元，

而所述间距调整单元，通过产生并传递动力而使两个支架之间的距离变窄或变宽。

7.根据权利要求6所述的基板输送装置，其特征在于：

所述间距调整单元，将连接于电机轴的螺杆或气缸中的任意一种作为驱动源。