[发明专利]基板输送装置

说明书

技术领域

本发明涉及一种基板输送装置，尤其涉及一种在制造平板显示器基板的各种工序的输送线中，可连续输入及输出基板的基板输送装置。

背景技术

通常，用于平板显示器的玻璃基板(以下称“基板”)是通过蒸镀、蚀刻、剥离、清洗、漂洗等一系列工序来制造。所述各制造工序中均设有输送装置，其沿着输送线依次输送多个基板，并进行相应的作业。

所述输送装置是常用滚筒式输送机结构，其在输送线上配置相隔一定距离的多个输送辊，而基板能够置放在所述输送辊的上面，并在此状态下可移动。

而且，所述输送装置与缓冲单元连接，所述缓冲装置可对应于输送线投入及输出基板。

所述缓冲单元，分别位于输送线的投入及输出位置上，而且通过上/下操作，将基板装载于输送辊上，或从输送辊卸载，并藉此缓冲方式进行基板的投入及输出。

所述缓冲单元主要有两种类型的缓冲结构。所述两种结构中，其中一种缓冲单元的结构如下，即，在输送辊之间设置与基板底面接触而用于支撑基板的多个提升销(lift-pin)，各提升销则接收驱动源所传递的动力而进行上/下移动动作。

而另一种缓冲单元则使用众所周知的机械臂，所述机械臂设置在输送辊之间，并在此状态下，可以进行用于缓冲基板的上/下移动动作。

但是，具有上述结构的现有缓冲单元，由于其提升销或机械臂设置在所述各输送装置的输送辊之间，并在其状态下进行上/下移动动作，因此这种结构，例如，在基板未脱离输送线的投入或输出位置时，受到该基板的干扰，而无法连续进行为投入或输出下一个基板的上/下移动动作，从而在基板的缓冲作业中需要等待过多的时间。

特别是，对于这种输送线进行投入或输出基板的缓冲工序中需要等待过多的时间，这是降低生产效率和作业效率的主要因素。

发明内容

本发明鉴于上述问题而提出的，其目的在于提供一种易于进行基板的缓冲作业，尤其是在进行缓冲作业时可连续投入和输出基板，从而将等待时间大幅缩短的基板输送装置。

为实现上述目的，本发明提供一种基板输送装置，其包括：

基板输送单元，其配置有隔开设置的多个输送辊，并且在所述多个输送辊的上面以水平或倾斜状态输送基板；

缓冲臂，其上面可放置基板，并且通过上/下移动从所述输送辊上承接基板或向所述输送辊移交基板；

支架，其具备使所述缓冲臂上/下移动的上/下移动驱动单元，并且固定所述缓冲臂，使所述缓冲臂可在能够移交或承接基板的状态下移动；

状态变换单元，其通过铰接方式连接所述缓冲臂和支架，并且产生旋转力，使所述缓冲臂以铰接部为基准进行旋转而改变其状态，

其中所述基板输送单元设置在支撑架上，所述支撑架与所述缓冲臂相对应的部分被切除。

本发明基板输送装置，可连续进行向输送线移交基板或与此相反从输送线承接基板的缓冲臂的上/下移动动作，因此，不仅大幅缩短了基板的移交或承接操作后产生的等待时间，而且可以提高基板输送效率从而能够提高工作效率和生产效率。

附图说明

图1是本发明实施例的基板输送装置整体结构的截面图。

图2是用于说明图1中缓冲臂的上/下移动的示意图。

图3是用于说明图1中支架结构的示意图。

图4及图5是用于说明本发明实施例的基板输送装置的状态变换单元结构的示意图。

图6及图7是本发明实施例的基板输送装置的基板移交作业中，缓冲臂进行向下操作前状态的示意图。

图8及图9是本发明实施例的基板输送装置的基板移交作业中，缓冲臂进行向下操作后状态的示意图。

图10、图11及图12是本发明实施例的基板输送装置移交基板后，缓冲臂进行向上操作状态的示意图。

图13是用于说明图5中状态变换单元的其他操作实施例的示意图。

图14是用于说明本发明另一实施例的基板输送装置结构的示意图。

具体实施方式

下面，参照附图说明本发明的优选实施例，在所属领域的技术人员能够实施的范围内进行说明。

然而，本发明可具有各种不同的实施方式而并不局限于在此示出的实施例。

图1是本发明实施例的基板输送装置整体结构的剖视图，附图符号2表示缓冲臂，而所述缓冲臂2位于输送装置F上方，所述输送装置F构成用于输送基板G的输送线。

所述输送装置F，采用了一般结构，即，由多个输送辊R构成，而且，当所述多个输送辊R接收从电机R1传递的旋转力而旋转时，可使基板G在水平或倾斜放置于所述输送装置F上面的状态下移动。