[发明专利]电压施加装置以及使用其的导电处理方法

说明书

技术领域

本发明涉及向磁头装置等各种被处理制品提供检查用或导电处理用等的电压的电压施加装置、以及使用所述电压施加装置来降低接合部的电阻的导电处理方法。

背景技术

在下面的专利文献1中记载了向形成于多层电路板等被检物的表面上的导电触点接触探头来进行检查的发明。

此外，在下面的专利文献2中记载了对磁头滑块通过导电性粘合剂而粘在板簧上的磁头装置实施导电处理的发明。在该发明中，通过向磁头滑块和板簧之间施加电压来破坏磁头滑块和板簧之间的接合部上的绝缘状态，由此来降低所述接合部的电阻。

专利文献1：(日本)特开平4-2969号公报；

专利文献2：(日本)特开2002-343048号公报。

在现有例中，当向被检制品或被处理制品施加电压时，如果将高刚性的探头接触到所述制品上，则无法使探头与制品之间的接触压力恒定，从而存在探头对制品的局部施加过大压力的问题。

此外，当将探头接触到制品上来向制品施加电压时，探头的表面容易氧化，在探头的表面形成氧化膜，从而探头将变得无法继续使用。

发明内容

本发明就是为了解决上述现有的问题而作出的，其目的在于，提供一种能够将探头以稳定的压力接触到被处理制品上并能够抑制探头表面的氧化的电压施加装置。

此外，本发明的目的还在于，提供一种可使用所述电压施加装置来使被处理制品的导电性部件之间的接合部上的电阻降低的导电处理方法。

本发明是一种电压施加装置，包括与被处理制品接触的探头、和向所述被处理制品与所述探头之间施加电压的电源部，其特征在于：所述探头在其自身发生弹性变形的情况下抵接到所述被处理制品上，相比于提供给所述被处理制品的电位，所述电源部向所述探头提供正的电位。

例如，在本发明中设置了致动器，该致动器朝着被处理制品以恒定的速度送出所述探头，并且在所述探头抵接到被处理制品上并向被处理制品施加电压之后，使所述探头向远离被处理制品的方向后退。

在本发明的电压施加装置中，由于探头发挥弹性力来抵接到被处理制品上，因而能够使探头和磁头滑块的接触压力总为恒定。此外，通过相比于提供给被处理制品的电位，将探头的电位设定为正电位，能够抑制探头表面的氧化，从而能够长时间使用探头。

例如，所述探头由钨、钯合金、铍铜中的一种形成。用所述金属材料形成的探头具有高弹性，能够发挥弹性力并难以塑性变形。通过将所述探头设定为正电位，能够抑制探头表面的氧化。

本发明的导电处理方法的特征在于：所述被处理制品是至少将两个导电性部件接合起来的制品，所述方法使用所述电压施加装置，向一个所述导电性部件施加电压，并使所述探头接触另一个所述导电性部件，由此向导电性部件之间施加电压来降低所述接合部的电阻。

在本发明的导电处理方法中，降低所述导电性部件的接合部的起因于表面氧化膜的电阻。或者，所述接合部夹有包含导电性填充物和粘合剂树脂的导电性树脂，所述导电处理方法降低所述导电性部件与所述导电性树脂的接合部的电阻。

此外，本发明中的所述被处理制品是磁头装置，该磁头装置包括安装有磁功能元件的磁头滑块和与该磁头滑块粘合的支承体，所述导电处理方法在向所述支承体提供电位的同时，使所述探头接触所述磁头滑块。此时，优选使所述探头接触到所述磁头滑块中的与安装所述磁功能元件的端面相反一侧的引导侧端面上。

在本发明中，由于由探头发挥弹性力来与磁头滑块抵接，因而不会向磁头滑块施加过大的压力。此外，通过按压磁头滑块的引导侧端面，能够抑制受板簧支承的磁头滑块的姿态发生变化。

发明效果

在本发明的电压施加装置中，能够稳定地向被处理制品施加电压，并能够抑制探头表面的氧化。本发明的导电处理方法能够使用所述电压施加装置来降低导电性部件之间的接合电阻。

附图说明

图1示出了作为被处理制品的一个例子的磁头装置，其中，(A)是侧视图，(B)是仰视图。

图2是用于说明电压施加装置以及使用电压施加装置的导电处理方法的侧视图。

图3是磁头装置的挠曲件与磁头滑块的接合部的放大截面图。

图4是示出向承载梁与探头施加的电压以及磁头滑块与承载梁之间的电阻值的曲线图。

图5是示出在施加一次电压后的磁头装置中向承载梁与探头施加的电压以及磁头滑块与承载梁之间的电阻值的曲线图。

具体实施方式