[发明专利]滤色器、基板、电光装置、电子仪器、成膜方法和装置

权利要求书

1.一种发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板，其特征在于：包括在基板上形成的开关元件、与上述开关元件连接的电极层、具有指定图形的与上述电极层连接的存储绝缘层和在上述电极层及存储绝缘层上形成的着落精度试验用层。

2.按权利要求1所述的发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板，其特征在于：在上述基板上设置了游标层，该游标层与上述开关元件的金属配线层有相同的高度。

3.按权利要求2所述的发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板，其特征在于：上述游标层由金属层构成。

4.按权利要求1～3的任一权项所述的发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板，其特征在于：在上述着落精度试验用层上形成凸状层。

5.一种发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板的制造方法，其特征在于：包括

(a)在基板上形成开关元件、与上述开关元件连接的电板层和具有指定图形的与上述电极层连接的存储绝缘层的工序、

(b)在上述电极层上形成着落精度试验用层的工序。

6.按权利要求5所述的发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板的制造方法，其特征在于：上述工序(b)是在上述电极层和上述存储绝缘层上形成上述着落精度试验用层的工序。

7.按权利要求5或6所述的发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板的制造方法，其特征在于：进而包括

(c)使液滴材料着落到上述着落精度试验用层上形成凸状层的工序。

8.按权利要求5或6所述的发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板的制造方法，其特征在于：上述工序(b)是在形成感光性树脂层后，通过利用光刻法蚀刻成图形而形成上述着落精度试验用层的工序。

9.按权利要求5或6所述的发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板的制造方法，其特征在于：上述工序(a)包含在上述基板上形成与上述开关元件的金属配线层有相同高度的游标层的工序。