[发明专利]滤色器、基板、电光装置、电子仪器、成膜方法和装置

说明书

本申请是申请号为02124377.8、申请日为2002年6月24日的原案申请的分案申请，该原案申请的首个在先申请为JP2001-191562，在先申请日为2001年6月25日；JP2002-159665，在先申请日为2002年5月31日。

技术领域

本发明涉及滤色器及其制造方法、滤色器用液滴材料着落精度试验基板及其制造方法、发光用基板及其制造方法、发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板及其制造方法、具有上述滤色器或上述发光用基板的电光机器及电子仪器和成膜方法和成膜装置。

背景技术

近年来，随着电脑特别是笔记本电脑的进步，对液晶彩色显示器的需求急剧增加。与此对应地确立以适中的价格提供漂亮的显示器的方式就成了当务之急。另外，近年来，从环境保护的观点考虑，也要求改善或变换为降低环境负担的工艺。

以往，作为滤色器的1个制造方法，人们知道的有以下方法。在该方法中，首先，作为遮光材料，利用光刻法和腐蚀法将铬的薄膜蚀刻成图形，形成黑矩阵。然后，在利用旋转涂敷法等按各色将红、绿、篮感光性树脂涂敷到该黑矩阵间的间隙后，可以光刻法蚀刻成图形。这样，便可构成红、绿、篮着色层(点)相邻地配置的彩色矩阵。在该制造方法中，对红、绿、篮各色必须反复进行光刻工序，另外，蚀刻各色的图形时要除去不需要的部分，损耗感光性材料，所以，得到的是环境负担重的成本高的滤色器。

因此，作为解决这样的制造方法的问题的方法，在例如特开昭59-75205号公报中提案了应用喷墨法的方法。在该方法中，在透明基板上将用对墨水的湿润性低的材料将用以分割着色层的形成区域的间壁形成为矩阵状后，通过使用喷墨法将非感光性色材涂布到间壁内，形成着色层。在该制造方法中，可以降低光刻工序的烦杂性，以及降低色材的损耗。以后，又提案和多个利用喷墨法等液滴材料喷出法涂布非感光性色材的工艺制造滤色器的制造方法。

发明内容

本发明的目的旨在提供包含通过喷出液滴材料而形成的具有充分的遮光性的遮光区域和没有混色的透过区域从而没有像素缺陷及色调模糊的对比度高的滤色器和发光用基板。

本发明的其他目的在于，提供通过喷出液滴材料可以使色材高精度地附着到指定区域的滤色器的制造方法以及发光用基板的制造方法。

本发明的其他目的在于，提供为了通过喷出液滴材料使色材高精度地附着到指定区域而使用的滤色器用液滴材料着落精度试验基板及其制造方法和发光用基板用的液滴材料着落精度试验基板及其制造方法。

另外，本发明的其他目的在于，提供上述滤色器、发光用基板或者使用它们用的液滴材料着落精度试验基板的液滴材料着落精度的测定方法。

此外，本发明的其他目的在于，提供具有上述滤色器或发光用基板的电光装置和电子仪器。

此外，本发明的其他目的在于，提供使用液滴材料的成膜方法和成膜装置。

1.滤色器和液滴材料着落精度的测定方法

(A)本发明的滤色器的特征在于：具有包括遮光区域和由上述遮光区域分割的透过区域的像素区域、位于上述像素区域以外的着落精度试验用区域、设置在上述遮光区域的第1遮光层、设置在上述透过区域的色要素、设置在上述着落精度试验用区域的第2遮光层和用以至少覆盖上述第2遮光层而设置在上述着落精度试验用区域的着落精度试验用层，在上述着落精度试验用区域中，设置了由上述第2遮光层分割的评价区域。

在本发明的滤色器中，所谓像素区域，就是包含滤色器使用的像素的区域。另外，所谓着落精度试验用区域，在滤色器中就是包含不形成像素或者不作为滤色器的像素使用的像素的区域。另外，所谓评价区域，就是在液滴材料的着落精度试验中成为液滴材料的着落精度的评价对象的区域。

按照本发明的滤色器，通过在上述着落精度试验用区域设置上述评价区域，可以在上述着落精度试验用层上进行液滴材料的着落精度试验，所以，在像素区域中可以使液滴材料高精度地附着到指定区域。因此，本发明的滤色器的特征是，在上述遮光区域具有充分的遮光性，并且在上述透过区域没有混色，所以，没有像素缺陷及色调模糊，对比度高。详细情况，在后面所述的本发明的实施例中说明。

(B)本发明的滤色器的特征在于：具有包括遮光区域和由上述遮光区域包围的透过区域的像素区域、通过喷出液滴材料而在上述透过区域形成的色要素、与上述像素区域相邻配置并且具有遮光区域的周边区域和包含在上述周边区域中并且通过由上述周边区域的遮光区域包围而具有与上述透过区域的形状对应的形状的评价区域。