[发明专利]荫罩和使用该荫罩制造有机发光器件的方法有效
申请号: | 200710127555.2 | 申请日: | 2007-06-28 |
公开(公告)号: | CN101096754A | 公开(公告)日: | 2008-01-02 |
发明(设计)人: | 金廷炫;金在允;赵兴烈 | 申请(专利权)人: | LG.菲利浦LCD株式会社 |
主分类号: | C23C16/04 | 分类号: | C23C16/04;C23C14/24;H01L21/71 |
代理公司: | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 | 代理人: | 徐金国;梁挥 |
地址: | 韩国*** | 国省代码: | 韩国;KR |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 使用 制造 有机 发光 器件 方法 | ||
1.一种荫罩,包括多个列,每列包括多个第一单元形成部分或者第二单元形成部分,其中第一单元形成部分和第二单元形成部分在多个列中交替排列,并且设置在相邻列中的第一单元形成部分和第二单元形成部分包括具有不同开口方向的传输部分。
2.根据权利要求1所述的荫罩,其特征在于,所述设置在每列中的单元形成部分中的传输部分具有相同的开口方向。
3.根据权利要求2所述的荫罩,其特征在于,所述设置有具有第一方向的传输部分的列与设置有具有第二方向的传输部分的列交替。
4.根据权利要求3所述的荫罩,其特征在于,所述第一方向和第二方向彼此交叉。
5.根据权利要求4所述的荫罩,其特征在于,所述第一方向与第二方向垂直。
6.一种制造有机发光二极管显示器件的方法,包括:
准备荫罩,该荫罩包括多个列,每列包括多个第一单元形成部分或第二单元形成部分,其中第一单元形成部分和第二单元形成部分按列交替排列,并且设置在相邻列中的第一单元形成部分和第二单元形成部分包括具有不同开口方向的传输部分;
将荫罩设置在基板下方;以及
通过荫罩的传输部分向基板提供有机发光材料层而形成有机发光层,该有机发光材料层是由设置在荫罩下方的有机发光材料供体所提供。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的