[发明专利]双态制造数据处理方法、系统及所制造的集成电路产品

权利要求书

1.一种以计算机执行的双态制造数据处理方法，包含：

收集制造数据，其中所述制造数据分类成至少两种预定类别数据型态；

分析所述两种数据型态的其中一种的数据；以及

根据所述分析结果以在所述被分析的数据上执行处理动作。

2.如权利要求1所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中，还包含执行处理动作于其它数据型态的数据。

3.如权利要求1所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中，被分析的所述数据型态包含警示、状态、及记录数据。

4.如权利要求1所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中，从多个客户系统、一支持操作系统、多个制造工具的多个检测系统、以及所述多个客户系统的多个服务系统收集所述制造数据。

5.如权利要求4所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中，所述处理动作包含通知所述多个客户系统和/或所述支持操作系统，更新所述多个检测系统的多个数据库，以及在所述多个服务系统中建立数据过滤规则。

6.如权利要求1所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中，所述制造数据是通过网络收集的。

7.如权利要求1所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中，所述分析包含数据整合、数据再计算、历史数据分析、紧急数据参照、以及数据转换。

8.一种双态制造数据处理系统，包含：

一收集模块，其收集制造数据，其中所述制造数据分类成至少两种预定类别数据型态；

一分析模块，其耦接至所述收集模块，分析所述两种数据型态的其中一种的数据；以及

一执行模块，其耦接至所述分析模块，根据所述分析结果以对所述被分析的数据执行处理动作。

9.如权利要求8所述的双态制造数据处理系统，其中，所述执行模块还执行处理动作于其它数据型态的数据。

10.如权利要求8所述的双态制造数据处理系统，其中，被分析的所述数据型态包含警示、状态、及记录数据。

11.如权利要求8所述的双态制造数据处理系统，其中，所述收集模块从多个客户系统、一支持操作系统、多个制造工具的多个检测系统、以及所述多个客户系统的多个服务系统收集所述制造数据。

12.如权利要求11所述的双态制造数据处理系统，其中，所述处理动作包含通知所述多个客户系统和/或所述支持操作系统，更新所述多个检测系统的多个数据库，以及在所述多个服务系统中建立数据过滤规则。

13.如权利要求8所述的双态制造数据处理系统，其中，所述收集模块通过网络来收集所述制造数据。

14.如权利要求8所述的双态制造数据处理系统，其中，所述分析模块以数据整合、数据再计算、历史数据分析、紧急数据参照、以及数据转换，来分析所述数据。

15.一种以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品，所述双态制造数据处理方法包含：

收集制造数据，其中所述制造数据分类成至少两种预定类别数据型态；

分析所述两种数据型态的其中一种的数据；以及

根据所述分析结果以在所述被分析的数据上执行处理动作。

16.如权利要求15所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品，其中，所述双态制造数据处理方法还包含执行处理动作于其它数据型态的数据。

17.如权利要求15所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品，其中，被分析的所述数据型态包含警示、状态、及记录数据。

18.如权利要求15所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品，其中，从多个客户系统、一支持操作系统、多个制造工具的多个检测系统、以及所述多个客户系统的多个服务系统收集所述制造数据。

19.如权利要求18所述的以计算机执行的双态制造数据处理方法所制造的集成电路产品，其中，所述处理动作包含通知所述多个客户系统和/或所述支持操作系统，更新所述多个检测系统的多个数据库，以及在所述多个服务系统中建立数据过滤规则。