[发明专利]双态制造数据处理方法、系统及所制造的集成电路产品

说明书

技术领域

本发明关于制造数据管理方法，且特别关于以计算机执行的双态(dualphased)制造数据处理方法、系统及所制造的集成电路产品。

背景技术

在集成电路(integrated circuit，简称IC)相关的制造厂中，例如半导体产品制造厂，客户与制造业者之间的通讯是相当重要的。通常会提供服务系统给客户以支持两者间的通讯。所述服务系统可以提供在线功能，例如掩模文件(mask file)检视、制造计划更新、或者订单变更，使得其中所整合的数据在制造时可以被使用。

支持工程师根据得自客户及检测系统的信息来维护服务系统。所述检测系统可以通过软件或硬件以连接至所述服务系统及制造工具，例如在制造工具中的检测程序、数据库中的数据过滤规则、或服务系统中的安全控制模块。

制造数据可以由客户、服务系统、检测系统、以及工程师产生，并且通常被分类为紧急、非紧急数据。紧急数据要求立即处理，而工程师/作业员对其作出适当处理动作。非紧急数据传统上是被收集并储存，并且只有在当支持工程师/作业员要维护服务系统或协助客户时，再加以被整合、分析以供参考。

图1是传统单态的制造数据处理系统。制造业者提供服务系统100给客户102。客户102可以通过网络104，例如因特网，来存取服务系统100。检测系统106连接至服务系统100、客户102以及制造工具108。在检测系统106从各个来源收集并编译制造数据110之后，制造数据110被分为紧急数据112或非紧急数据114。支持工程师/作业员116可以做出必要动作来处理紧急数据。

当客户102在服务系统100中遭遇问题，客户102可以与服务人员118通讯。服务人员118回报问题给支持工程师/作业员116。在此，支持工程师/作业员116整合并分析上述非紧急数据以解决服务系统100的问题。

非紧急数据可能包含有用的制造信息，并且在经过系统化的整合及分析后，可以提升产品制造与客户服务的质量，包含安全控制等服务。举例来说，可以事先辨识出客户的异常的安全事件，加以改进服务的潜在问题，并进而提供最佳的操作。

因此，需要一种双态制造数据处理方法。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种以计算机执行的双态制造数据处理方法、系统及所制造的集成电路产品。

基于上述目的，本发明实施例提供一种以计算机执行的双态制造数据处理方法。此方法包含数据收集与数据处理。从各个来源收集制造数据，例如从客户、工程师、作业员、服务系统及检测系统，分类所述制造数据成紧急与非紧急数据。紧急数据需要立即处理，因此对于紧急数据执行其必要的处理动作。然而，针对非紧急数据作适当的分析，再根据分析结果执行对应的处理动作。

上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，还包含执行处理动作于其它数据型态的数据。

上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，被分析的所述数据型态包含警示、状态及记录数据。

上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，从多个客户系统、一支持操作系统、多个制造工具的多个检测系统以及所述多个客户系统的多个服务系统收集所述制造数据。

上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，所述处理动作包含通知所述多个客户系统和/或所述支持操作系统，更新所述多个检测系统的多个数据库，以及在所述多个服务系统中建立数据过滤规则。

上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，所述制造数据是通过网络收集的。

上述的以计算机执行的双态制造数据处理方法，其中优选地，所述分析包含数据整合、数据再计算、历史数据分析、紧急数据参照以及数据转换。

本发明实施例还提供一种双态制造数据处理系统，包含：一收集模块，其收集制造数据，其中所述制造数据分类成至少两种预定类别数据型态；一分析模块，其耦接至所述收集模块，分析所述两种数据型态的其中一种的数据；以及一执行模块，其耦接至所述分析模块，根据所述分析结果以对所述被分析的数据执行处理动作。

上述的双态制造数据处理系统，其中优选地，所述执行模块还执行处理动作于其它数据型态的数据。

上述的双态制造数据处理系统，其中优选地，被分析的所述数据型态包含警示、状态及记录数据。

上述的双态制造数据处理系统，其中优选地，所述收集模块从多个客户系统、一支持操作系统、多个制造工具的多个检测系统以及所述多个客户系统的多个服务系统收集所述制造数据。