[发明专利]改善产品合格率的方法、程序及其系统

说明书

技术领域

本发明涉及一种改善晶片合格率的方法，特别涉及一种绝佳工具选择的 系统及方法，以达较佳的缺陷密度及提高产品合格率的目的。

背景技术

绝佳产品(golden product)，为一种无缺陷产品。于半导体制造业中， 由于工艺中不可避免的缺陷，通常生产一绝佳产品是困难的。通常以缺陷密 度代表所测量产品内的缺陷，表示此产品于一既定区域中，所检测出的缺陷 数目。为接近或取得一绝佳产品的生产，减少其缺陷密度是必要的。然而， 不同产品可能具有不同的缺陷密度改进比率，因此通常难以减少缺陷密度。 例如：一大芯片产品，相较于一小芯片产品，即具有一较好的产品合格率， 即使将两产品的缺陷密度降低至一相同比率。为产生一较好的产品合格率， 需要一种方法，用以减少产品缺陷密度，并提供最好投资收益的生产设备。 亦需要一种服务模块，以达到对于客户而言相当重要的较佳产品缺陷密度及 合格率。

发明内容

有鉴于此，本发明的主要目的是提供一种改善晶片合格率的方法，利用 绝佳工具的选择，从而减少缺陷密度，并且改善产品的合格率。

为了达到本发明的上述目的，本发明提供了改善晶片合格率的方法。根 据本发明的一实施例，该方法的步骤包括：根据制造工具的集合效能，从制 造工具的一集合中，选择绝佳工具的一集合；以及提供一全自动化操作环境， 以使用该绝佳工具的集合生产一晶片。其中，根据该制造工具的集合效能， 从制造工具集合中选择绝佳工具的集合，是由一绝佳室选择系统执行，将所 取得的在线统计过程控制数据、离线统计过程控制数据、以及周期维护数据 作为输入数据。而该全自动化操作环境包括自动发送、自动运输、及自动设 备操作。此外，是由一实时发送系统提供一全自动化操作环境，以使用该绝 佳工具的集合生产该晶片。该实时发送系统取得共享信息模块的信息、在制 品的信息、以及产品配置的信息，以作为输入数据。

本发明又提供一种程序，于可读取的计算机媒体上进行编码，该程序的 步骤包括：依据制造工具的一集合效能，由该制造工具的集合选择绝佳工具 的一集合；以及提供一全自动化操作环境，以使用该绝佳工具的集合生产一 晶片。

本发明还揭示一种改善晶片合格率的系统，包括：一选择模块及一全自 动化操作环境。该选择模块是依据制造工具的一集合效能，由该制造工具的 集合，用以选择绝佳工具的一集合。该全自动化操作环境是使用该绝佳工具 的集合以生产一晶片。

为使本发明的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例， 并配合所附附图，详细说明如下。

附图说明

图1显示大芯片及小芯片产品间的芯片增益示范比较图；

图2显示依据本发明实施例的一绝佳工具选择及发送系统方块图；

图3显示依据本发明实施例，由图2绝佳室选择系统20执行一绝佳工 具选择方法流程图。

其中，附图标记说明如下：

24～在线统计过程控制数据；

26～离线统计过程控制数据；

28～周期维护数据；20～绝佳室选择系统；

30～关键阶段配置；32～计算机整合制造信息；

34～在制品；36～大芯片零件配置；

22～实时发送系统；38～全自动操作；

40～大芯片产品。

具体实施方式

图1是显示大芯片及小芯片产品间的芯片增益示范比较图。标记10是 为芯片产品16的芯片增益12与缺陷密度14的相关图表。芯片产品依据大 小排列。标记10显示出随着缺陷密度由0.2减少至0.05，大芯片产品会较小 芯片产品具有较高的芯片增益。于此例中，大芯片产品，例如：G70，与小 芯片产品相较，例如：IC12，具有3倍的芯片增益。这就指出大芯片产品缺 陷密度的减少，相较于小芯片产品，更加关键而紧要。

图2显示依据本发明实施例的一绝佳工具选择及发送系统方块图。如图 2所示，本发明包括：一绝佳室选择系统20，用以选择绝佳工具；以及一实 时发送系统22，用以将一产品安排至绝佳工具的集合。绝佳室选择系统20， 将所取得的在线统计过程控制(SPC)数据库24、离线统计过程控制(SPC) 数据库26、以及周期维护数据库28的数据作为输入数据，并且依据此输入 数据，用以产生一绝佳工具的选择。