[发明专利]球填充装置及方法

权利要求书

1.一种球填充装置(10)，该装置(10)用于在将具有用于将导电性球(B)配置在基板(100)上的多个开口(111)的掩模(110)设置在上述基板(100)上的状态下向上述多个开口(111)中填充导电性球(B)，该球填充装置(10)包括：

多个头部(21a、21b)，用于在上述掩模(110)表面(110a)的多个部分上分别保持独立的多个导电性球的集团(Bg1、Bg2)；

头部移动机构(30)，用于使上述多个头部(21a、21b)进行移动，以使得上述多个导电性球的集团(Bg1、Bg2)在上述掩模(110)表面(110a)上移动。

2.根据权利要求1所述的球填充装置(10)，还具有球补给机构(40)，该球补给机构(40)用于分别通过上述多个头部(21a、21b)对上述各自的导电性球的集团(Bg1、Bg2)补给导电性球(B)。

3.根据权利要求1所述的球填充装置(10)，上述头部移动机构(30)沿第1方向并列保持上述多个头部(21a、21b)，并使该各个头部(21a、21b)沿与上述第1方向交叉的第2方向进行往返运动，并且在沿上述第2方向的往返运动的各端沿上述第1方向进行运动。

4.根据权利要求1所述的球填充装置(10)，上述头部移动机构(30)沿第1方向并列保持上述多个头部(21a、21b)，并使该各个头部(21a、21b)沿上述第1方向进行往返运动，并且使该多个头部(21a、21b)在沿上述第1方向的往返运动的各端沿与上述第1方向交叉的第2方向进行相同的运动。

5.根据权利要求1所述的球填充装置(10)，还具有以使互相相邻的头部(21a、21b)的间隔可变的方式支承着上述多个头部(21a、21b)的头部支承机构(35)，上述头部移动机构(30)使上述头部支承机构(35)进行移动。

6.根据权利要求1所述的球填充装置(10)，还具有支承着上述多个头部(21a、21b)、由上述头部移动机构(30)使其移动的头部支承机构(35)，上述多个头部(21a、21b)包括互相相邻的第1头部(21a)及第2头部(21b)，上述头部支承机构(35)具有：

基座(81)；

导轨(82)，被设在上述基座(81)上，以可滑动的方式支承着第2头部(21b)，以改变该第2头部(21b)与上述第1头部(21a)的间隔；

止动件(83)，对上述第2头部(21b)相对于上述基座(81)的滑动进行固定。

7.根据权利要求1所述的球填充装置(10)，还具有头部支承机构(35)，该头部支承机构(35)由上述头部移动机构(30)使其移动，支承着上述多个头部(21a、21b)，并且使上述多个头部(21a、21b)分别以与上述掩模(110)垂直的轴线(P1、P2)为中心进行旋转，

各头部(21a、21b)分别具有通过以上述垂直的轴线(P1、P2)为中心进行旋转而从该动区域(A1、A2)的周围朝向上述掩模(110)表面(110a)上的、以上述垂直的轴线(P1、P2)为中心的圆形的动区域(A1、A2)汇集导电性球(B)的机构(62a、62b)，并将上述动区域(A1、A2)形成为保持有上述导电性球的集团(Bg1、Bg2)的上述掩模(110)的表面(110a)的部分。

8.一种球填充装置(10)，用于在将具有用于将导电性球(B)配置在基板(100)上的多个开口(111)的掩模(110)设置在上述基板(100)上的状态下向上述多个开口(111)中填充导电性球(B)，包括：

球保持机构(20)，用于形成多个在上述掩模(110)表面(110a)上进行移动的、分别保持有独立的多个导电性球的集团(Bg1、Bg2)的动区域(A1、A2)；

移动机构(30)，用于使上述球保持机构(20)进行移动。

9.根据权利要求8所述的球填充装置(10)，还具有用于对上述多个动区域(A1、A2)的各动区域内部补给导电性球(B)的球补给机构(40)。