[发明专利]晶片激光刻印方法与其系统无效
申请号: | 200710129730.1 | 申请日: | 2007-07-24 |
公开(公告)号: | CN101355011A | 公开(公告)日: | 2009-01-28 |
发明(设计)人: | 郑匡文;卢玟瑀 | 申请(专利权)人: | 京元电子股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/00 | 分类号: | H01L21/00 |
代理公司: | 北京连和连知识产权代理有限公司 | 代理人: | 王光辉 |
地址: | 台湾省新*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 晶片 激光 刻印 方法 与其 系统 | ||
1.一种晶片的激光刻印方法,其以激光方式在晶片上刻印多种信息,其特征在于以下步骤:
提供刻印文件,其包含有多个不相同的刻印信息,分别对应至该晶片上不相同位置的芯片;
读取该刻印文件;
提供数据暂存区,依芯片顺序储存该刻印文件的一部份或全部;
载入晶片至刻印机台;
执行该晶片定位;
将各芯片对应的刻印信息一次刻印于各芯片被动面,完成后再移动至下一芯片进行刻印,依此循序刻印各芯片,直至晶片上所有芯片都刻印完毕;以及
自刻印机台释出该晶片。
2.根据权利要求1所述的激光刻印方法,其特征在于自刻印机台释出晶片之后进一步包含回溯步骤,回溯至提供刻印文件,并重复后续的步骤,以进行多晶片的刻印。
3.根据权利要求1所述的激光刻印方法,其特征在于该刻印信息经数据汇整后而产生,以对应至晶片上各芯片的相关信息,该刻印信息选自信息代码、logo、识别码以及刻印位置等所组成的群组。
4.根据权利要求1所述的激光刻印方法,其特征在于该循序刻印指将各芯片所对应的刻印信息一次刻印完成,再移动至下一芯片进行刻印。
5.根据权利要求3所述的激光刻印方法,其特征在于该信息代码指将晶片经过针测后,根据该晶片上各芯片的测试结果所产生对应的信息代码。
6.根据权利要求3所述的激光刻印方法,其特征在于该识别码指晶片上的各芯片所对应的晶片代码。
7.根据权利要求3所述的激光刻印方法,其特征在于该刻印位置指刻印信息在晶片上的对应位置。
8.一种晶片的激光刻印方法,其以激光方式在晶片上刻印多种信息,其特征在于以下步骤:
载入晶片至刻印机台;
执行该晶片定位;
提供刻印文件,其中包含有多个不相同的刻印信息对应至不相同的芯片;
读取该刻印文件;
提供数据暂存区,依芯片顺序储存该刻印文件的一部份或全部;
将各芯片对应的刻印信息一次刻印于各芯片被动面,完成后再移动至下一芯片进行刻印,依此循序刻印各芯片,直至晶片上所有芯片都刻印完毕;以及
自刻印机台释出该晶片。
9.一种晶片的激光刻印系统,其以激光方式在晶片上刻印多种信息,主要包括有:
读取装置,可读取刻印文件,其中包含有多个不相同的刻印信息对应至不相同的芯片;
记忆装置,依芯片顺序储存该刻印文件的一部份或全部;
晶片储放装置,用以储放未刻印与/或已刻印的晶片;
上载/下载装置,将未刻印的晶片上载至刻印机台,与将刻印完毕的晶片下载至晶片储放装置;
晶片定位平台,用以将该上载的晶片正确定位;
激光刻印装置,接收该数据暂存区的刻印信息,将该晶片各芯片所对应的刻印信息循序刻印于该芯片的被动面,直至刻印完毕;以及
机器可存取的储存媒体,用以储存多个刻印文件。
10.根据权利要求9所述的激光刻印系统,其特征在于该记忆装置指一种可重复读写的内存,而该可机械存取储存媒体指一种可大量储存数据的储存装置。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造