[发明专利]晶片激光刻印方法与其系统无效

专利信息
申请号: 200710129730.1 申请日: 2007-07-24
公开(公告)号: CN101355011A 公开(公告)日: 2009-01-28
发明(设计)人: 郑匡文;卢玟瑀 申请(专利权)人: 京元电子股份有限公司
主分类号: H01L21/00 分类号: H01L21/00
代理公司: 北京连和连知识产权代理有限公司 代理人: 王光辉
地址: 台湾省新*** 国省代码: 中国台湾;71
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摘要:
搜索关键词: 晶片 激光 刻印 方法 与其 系统
【权利要求书】:

1.一种晶片的激光刻印方法,其以激光方式在晶片上刻印多种信息,其特征在于以下步骤:

提供刻印文件,其包含有多个不相同的刻印信息,分别对应至该晶片上不相同位置的芯片;

读取该刻印文件;

提供数据暂存区,依芯片顺序储存该刻印文件的一部份或全部;

载入晶片至刻印机台;

执行该晶片定位;

将各芯片对应的刻印信息一次刻印于各芯片被动面,完成后再移动至下一芯片进行刻印,依此循序刻印各芯片,直至晶片上所有芯片都刻印完毕;以及

自刻印机台释出该晶片。

2.根据权利要求1所述的激光刻印方法,其特征在于自刻印机台释出晶片之后进一步包含回溯步骤,回溯至提供刻印文件,并重复后续的步骤,以进行多晶片的刻印。

3.根据权利要求1所述的激光刻印方法,其特征在于该刻印信息经数据汇整后而产生,以对应至晶片上各芯片的相关信息,该刻印信息选自信息代码、logo、识别码以及刻印位置等所组成的群组。

4.根据权利要求1所述的激光刻印方法,其特征在于该循序刻印指将各芯片所对应的刻印信息一次刻印完成,再移动至下一芯片进行刻印。

5.根据权利要求3所述的激光刻印方法,其特征在于该信息代码指将晶片经过针测后,根据该晶片上各芯片的测试结果所产生对应的信息代码。

6.根据权利要求3所述的激光刻印方法,其特征在于该识别码指晶片上的各芯片所对应的晶片代码。

7.根据权利要求3所述的激光刻印方法,其特征在于该刻印位置指刻印信息在晶片上的对应位置。

8.一种晶片的激光刻印方法,其以激光方式在晶片上刻印多种信息,其特征在于以下步骤:

载入晶片至刻印机台;

执行该晶片定位;

提供刻印文件,其中包含有多个不相同的刻印信息对应至不相同的芯片;

读取该刻印文件;

提供数据暂存区,依芯片顺序储存该刻印文件的一部份或全部;

将各芯片对应的刻印信息一次刻印于各芯片被动面,完成后再移动至下一芯片进行刻印,依此循序刻印各芯片,直至晶片上所有芯片都刻印完毕;以及

自刻印机台释出该晶片。

9.一种晶片的激光刻印系统,其以激光方式在晶片上刻印多种信息,主要包括有:

读取装置,可读取刻印文件,其中包含有多个不相同的刻印信息对应至不相同的芯片;

记忆装置,依芯片顺序储存该刻印文件的一部份或全部;

晶片储放装置,用以储放未刻印与/或已刻印的晶片;

上载/下载装置,将未刻印的晶片上载至刻印机台,与将刻印完毕的晶片下载至晶片储放装置;

晶片定位平台,用以将该上载的晶片正确定位;

激光刻印装置,接收该数据暂存区的刻印信息,将该晶片各芯片所对应的刻印信息循序刻印于该芯片的被动面,直至刻印完毕;以及

机器可存取的储存媒体,用以储存多个刻印文件。

10.根据权利要求9所述的激光刻印系统,其特征在于该记忆装置指一种可重复读写的内存,而该可机械存取储存媒体指一种可大量储存数据的储存装置。

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