[发明专利]微型机械构件

权利要求书

1.微型机械构件，其中通过至少一个弹簧将一个可摆动件保持在一个框架体上，带弹簧的可摆动件通过所设置的凹槽和一个电绝缘体与框架体机械且电隔离，在框架体和具有弹簧的可摆动件之间有一个电压，其特征在于，在这样的区域之间构成位移限制元件(13，14，17，18，19，20)，所述区域具有相同电动势或在与这样的区域接触时产生一个可以忽略的电流。

2.如权利要求1所述的构件，其特征在于，具有凹槽的位移限制元件(13，14，18，19，20)被设置成，其凹槽的缝隙尺寸小于可摆动件(1)和框架体(9)之间的其他凹槽(5，8，11)的缝隙尺寸。

3.如权利要求1或2所述的构件，其特征在于，在可摆动件(1)的外侧以及框架体(9)上与之互补的外侧设置相互嵌入的指状电极(6和7)，这些指状电极通过凹槽(5)相互分开。

4.如权利要求3所述的构件，其特征在于，将指状电极(6和7)彼此分开的凹槽(5)具有大于位移限制元件的凹槽(13，14，18，19，20)的缝隙尺寸。

5.如前述权利要求之一所述的构件，其特征在于，在框架体(9)设置一个与之电绝缘的附加电枢(15)，该附加电枢与设置在可摆动件(1)上的止挡(17)构成个位移限制件。

6.如权利要求5所述的构件，其特征在于，至少沿轴线方向在附加电枢(15)和止挡(17)之间保持一个小于其他凹槽(5，8，11)的缝隙尺寸。

7.如前述权利要求之一所述的构件，其特征在于，构成位移限制元件的凹槽相对弹簧(2)的纵轴倾斜一个角度设置。

8.如前述权利要求之一所述的构件，其特征在于，在位移限制元件(13，14，18，19，20)上的处于接触状态的区域中形成一个高电阻连接。

9.如前述权利要求之一所述的构件，其特征在于，高电阻连接由在此处的、不导电或电阻非常高的材料构成的层组成。

10.如前述权利要求之一所述的构件，其特征在于，距离弹簧的距离增加的、构成位移限制元件的凹槽(18，19，20)具有逐渐减小的缝隙尺寸。

11.如前述权利要求之一所述的构件，其特征在于，弹簧(2)在框架体(9)的方向上汇入电枢(3)，电枢通过一个绝缘件(4)相对框架体(9)电绝缘。

12.如前述权利要求之一所述的构件，其特征在于，附加电枢通过一个绝缘件(4)相对框架体(9)电绝缘。

13.如权利要求11或12所述的构件，其特征在于，绝缘体由一个敞开的凹槽构成。

14.如权利要求11或12所述的构件，其特征在于，在电枢(3)和/或附加电枢和框架体(9)之间通过至少部分填满一个凹槽由绝缘材料构成绝缘体(4)。

15.如权利要求11或14所述的构件，其特征在于，附加电枢(15)连接在可摆动件(1)的电动势上。

16.如前述权利要求之一所述的构件，其特征在于，利用一个位移限制元件凹槽(13，14)在可摆动件(1)上形成一个止挡(10)。

17.如前述权利要求之一所述的构件，其特征在于，位移限制元件设置在弹簧(2)和/或指状电极(6，7)区域中。

18.如前述权利要求之一所述的构件，其特征在于，相对弹簧(2)的纵轴线方向对称地设置。