[发明专利]微型机械构件

说明书

技术领域

本发明涉及一种微型机械构件，相对已知解决方案其工作稳定性得以提高。这种构件涉及传感器或两极反应物，在这些传感器或两极反应物中可摆动件至少在一维中摆动。这种摆动可以是移动、倾斜或围绕着转动轴线的摆动。

背景技术

通常是基于一种电力作用驱动这种运动。

通过构造一种基层来利用这种基层构成这种微型机械构件的主要零件。从上表面起，在基层中设置凹槽，这种基层在最终的构件上形成一个总的厚度并可以构成贯通的凹槽。

通过这样一种构造，就可以构成与弹簧固定在一起的可摆动件、框架体和必要的其他零件，例如指状电极。

在EP 1 123 526 B1中公开了一种用于连续偏转电磁辐射的两极反应物，其中尤其涉及了如何驱动这种两极反应物。

可以象已经描述的那样，在一个可摆动件或一个框架体上设置指状电极，这些指状电极相互相嵌地设置并且被制成梳子状。由此可以提高在一个零件偏转时的作用力。图1中表示了一个这样的实施例。

但是，这种微型构件的编织品结构还是有问题，即损害了功能并导致构件的损坏。

框架体和可摆动件被设置成在不同的电动势下发生偏转。为此，它们必须是相互电绝缘的。但是非正常使用可能导致电位差过大且具有不同电动势的区域或零件处于接触状态，这将导致伴随着可预见恶果的电短路。

通过在微型机械构件上作用很高的机械加速度，这种接触可能有条件地机械地出现。

由此，可能在断路状态下在零件上，尤其是指状电极上引起损坏或破坏。

但是，微型机械构件的零件还可能相互粘结，即所谓“sticking”(粘结)。其结果就是导致电短路。

发明内容

本发明的目的在于提供一种微型机械构件，尤其是在电压升高和其他外界干扰的情况下该构件提供更高的工作稳定性。

根据本发明该目的由一个微型机械构件实现，其中，通过至少一个弹簧将一个可摆动件保持在一个框架体上，带弹簧的可摆动件通过所设置的凹槽和一个电绝缘体与框架体机械且电隔离，在框架体和具有弹簧的可摆动件之间有一个电压，其特征在于，在这样的区域之间构成位移限制元件，所述区域具有相同电动势或在与这样的区域接触时产生一个可以忽略的电流。

本发明的有益的构造和进一步的结构包括：具有凹槽的位移限制元件被设置成，其凹槽的缝隙尺寸小于可摆动件和框架体之间的其他凹槽的缝隙尺寸。在可摆动件的外侧以及框架体上与之互补的外侧设置相互嵌入的指状电极，这些指状电极通过凹槽相互分开。将指状电极彼此分开的凹槽具有大于位移限制元件的凹槽的缝隙尺寸。在框架体设置一个与之电绝缘的附加电枢，该附加电枢与设置在可摆动件上的止挡构成个位移限制件。至少沿轴线方向在附加电枢和止挡之间保持一个小于其他凹槽的缝隙尺寸。构成位移限制元件的凹槽相对弹簧的纵轴倾斜一个角度设置。在位移限制元件上的处于接触状态的区域中形成一个高电阻连接。高电阻连接由在此处的、不导电或电阻非常高的材料构成的层组成。距离弹簧的距离增加的、构成位移限制元件的凹槽具有逐渐减小的缝隙尺寸。弹簧在框架体的方向上汇入电枢，电枢通过一个绝缘件相对框架体电绝缘。附加电枢通过一个绝缘件相对框架体电绝缘。绝缘体由一个敞开的凹槽构成。在电枢和/或附加电枢和框架体之间通过至少部分填满一个凹槽由绝缘材料构成绝缘体。附加电枢连接在可摆动件的电动势上。利用一个位移限制元件凹槽在可摆动件上形成一个止挡。位移限制元件设置在弹簧和/或指状电极区域中。相对弹簧的纵轴线方向对称地设置。

根据已知的微型机械构件，可摆动件至少由一个弹簧固定在一个框架体上。这个弹簧可以根据使用要求是一个挠曲梁或一个扭簧。

但通常采用两个这种弹簧，这些弹簧设置在一个公共轴上并相对地设在摆动件上。

一个构件的框架体相对其他零件电绝缘，从而在框架体上有一个电动势而至少在可摆动件上有一个与之不同电动势。

如同EP 1 123 526 B1中所描述的那样，一个零件会由于静电力而偏转。

由于在整个厚度上布设凹槽，构成了单个零件并由此实现其各种功能。

这就导致了一种机械分离和一种对受不同电动势冲击的零件的电绝缘。

可以局部地并再附加利用一种绝缘体来实现电绝缘。其中，凹槽至少部分地或局部地由一种电绝缘材料充填。