[发明专利]射芯装置、射芯方法及射芯控制系统

权利要求书

1、一种射芯装置，包括具有通气装置的芯盒；

覆盖所述芯盒外表面的密封板，所述密封板与芯盒之间具有空腔；所述芯盒的通气装置与所述空腔连通；

和，位于所述密封板上，与所述空腔连通的抽气口；

以及，与所述抽气口通过管路连接的真空系统；

其特征在于，所述真空系统包括射芯控制阀、真空控制阀、储气罐和真空泵，所述储气罐通过管路连接在所述抽气口与真空泵之间；至少一个所述射芯控制阀安装在所述抽气口与储气罐之间的管路上；至少一个所述真空控制阀安装在所述真空泵上。

2、如权利要求1所述的装置，其特征在于，所述通气装置为贯穿所述芯盒内表面及外表面的排气孔。

3、如权利要求2所述的装置，其特征在于，还包括：

设置在所述排气孔中的排气塞，所述排气塞的大小可调节。

4、如前述任一项权利要求所述的装置，其特征在于，所述芯盒包括第一芯盒和第二芯盒，以及，由第一芯盒和第二芯盒的内表面围成的芯盒内腔。

5、如权利要求4所述的装置，其特征在于，还包括：

设置在所述芯盒内腔上部的射芯口。

6、一种应用权利要求1所述的射芯装置进行射芯的方法，其特征在于，包括：

启动所述真空系统生成真空通路，控制所述芯盒内的真空度；

判断所述真空度是否达到预定值，如果是，则开始射芯；

判断射芯时间是否满足预置条件，如果是，则结束射芯；

关闭所述真空通路。

7、如权利要求6所述的方法，其特征在于，还包括：

关闭所述真空系统。

8、如权利要求6所述的方法，其特征在于，所述真空系统包括真空控制阀和真空泵，所述真空系统启动步骤包括：

通过开启所述真空控制阀打开真空泵生成真空通路，控制所述芯盒内的真空度；

以及，所述真空通路关闭步骤包括：

通过关闭所述真空控制阀关闭所述真空通路。

9、如权利要求7所述的方法，其特征在于，所述真空系统包括真空控制阀和真空泵，所述真空系统关闭步骤包括：

通过关闭所述真空控制阀关闭所述真空泵。

10、如权利要求6、7、8或9所述的方法，其特征在于，所述真空系统还包括射芯控制阀和储气罐，所述开始射芯步骤包括：

通过开启所述射芯控制阀打开储气罐并进行射芯操作；

以及，所述结束射芯步骤包括：

通过关闭所述射芯控制阀结束射芯操作。

11、一种射芯控制系统，其特征在于，包括：

启动单元：用于启动真空系统生成真空通路，控制芯盒内的真空度；

射芯操作单元：用于控制射芯操作的启动和结束；

第一判断单元：用于判断所述真空度是否达到预定值，如果是，则触发射芯操作单元启动射芯操作；

第二判断单元：用于判断射芯时间是否满足预置条件，如果是，则触发射芯操作单元结束射芯操作；

关闭单元：用于关闭所述真空通路。

12、如权利要求11所述的射芯控制系统，其特征在于，还包括：

中止单元：用于关闭所述真空系统。