[发明专利]影像调整方法及影像撷取装置

说明书

技术领域

本发明是有关于一种影像撷取技术，尤其是指一种影像调整方法及影像撷取装置。

背景技术

白光干涉系统因干涉架构，使系统在物镜聚焦处所呈现的清晰影像具有干涉条纹，而无法直接进行二维尺寸量测与瑕疵检测。

为了解决这个问题，现有技术中，如图1所示的美国专利US.Pat.No.7,068,376所揭露的干涉系统1，其是具有一光源10、一分光单元11、一干涉物镜单元12以及一成像单元13。该光源10可产生光束并经由准直透镜14以形成一准直光束。该准直光束经由该分光单元11反射至干涉物镜单元12以形成一测物光以及一参考光。该测物光在投射至一待测物100表面后反射回该干涉物镜单元12并与该参考光合光产生干涉，以形成一干涉光。该干涉光再经由该分光单元11而由该成像单元13接收，以形成一干涉条纹影像。

前述的技术中，其利用相移法计算出待测物的三维形貌，同时以相移时所取得的一序列影像进行组合运算，以取出影像中直流的成份，运算所得的影像可消除干涉条纹的影响，并作为二维横向检(量)测使用的影像。不过，此方法必须先经由相移取像后才可得到无干涉条纹的二维影像，而相移取像的范围受限，且需花时间进行相移取像后才可得到二维检测所需的影像。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种影像调整方法及影像撷取装置，其不须先经由相移取像后才可得到无干涉条纹的二维影像，相移取像的范围不受限制，系统能获得清晰的干涉条纹影像，以进行三维形貌量测，且不需花时间进行相移取像后才可得到二维检测所需的影像，依据成像关系，可调整成像单元位置，以获得干涉同调区域外的清晰无干涉条纹的影像，可针对此影像进行二维瑕疵检测与尺寸量测。

本发明提供一种影像调整方法，其特征在于，其包括有下列步骤：

撷取一序列干涉影像；

分别对该序列干涉影像求得一清晰度聚焦指标曲线以及一对比度聚焦指标曲线；

分别寻找该清晰度聚焦指标曲线以及该对比度聚焦指标曲线的峰值；以及

进行一调校程序调整该清晰度聚焦指标曲线的峰值与该对比度聚焦指标曲线的峰值间的相对位置，以获得清晰的该序列干涉影像。

其中该调校程序还包括有下列步骤：

建立该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距离与该清晰度聚焦指标曲线的峰值和该对比度聚焦指标曲线的峰值间的距离的关系；以及

根据该关系，调整该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距离，使该清晰度聚焦指标曲线的峰值与该对比度聚焦指标曲线的峰值位置一致。

其中该调校程序还包括有下列步骤：

建立该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距离与该清晰度聚焦指标曲线的峰值和该对比度聚焦指标曲线的峰值间的距离的关系；

将该关系建立成一关系表格；以及

根据该关系表格，调整该序列干涉影像成像位置和取像位置间的距离，使该清晰度聚焦指标曲线的峰值与该对比度聚焦指标曲线的峰值位置一致。

其中该清晰度聚焦指标曲线为计算影像相邻像素间内涵值差异性的指标，以评价影像清晰的程度。

其中求得该清晰度聚焦指标曲线的法则是为空间频率分布鉴别法则，该空间频率分布鉴别法则可选择为相关系数法、影像差异法、灰度值峰谷深度法、影像对比法、灰度统计图法以及频域法其中之一。

其中该对比度聚焦指标曲线为计算影像像素内涵值统计分布的指标，以评价影像对比的程度。

其中求得该对比度聚焦指标曲线的法则是为像素内涵值统计分布鉴别法则，该像素内涵值统计分布鉴别法则可选择为相关系数法、影像差异法、灰度值峰谷深度法、影像对比法、灰度统计图法以及频域法其中之一。

本发明还提供一种影像调整方法，其特征在于，其包括有下列步骤：

撷取一无干涉条纹影像；

分别对该无干涉条纹影像求得一清晰度聚焦指标曲线以及一对比度聚焦指标曲线；

分别寻找该清晰度聚焦指标曲线以及该对比度聚焦指标曲线的峰值；以及

进行一调校程序调整该清晰度聚焦指标曲线的峰值与该对比度聚焦指标曲线的峰值间的相对位置，以获得清晰的无干涉条纹影像。

其中撷取该无干涉条纹影像的方法是为将该无干涉条纹影像的取像焦点移至取像视野内各位置发生干涉的同调区域外。

其中该清晰度聚焦指标曲线为计算影像相邻像素间内涵值差异性的指标，以评价影像清晰的程度。