[发明专利]硅料清洗装置中的酸洗槽无效
| 申请号： | 200710132079.3 | 申请日： | 2007-09-10 |
| 公开（公告）号： | CN101121169A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 陈宏 | 申请（专利权）人： | 张家港市超声电气有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/10 | 分类号： | B08B3/10;B08B3/12 |
| 代理公司： | 张家港市高松专利事务所 | 代理人： | 孙高 |
| 地址： | 215618江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 清洗 装置 中的 酸洗 | ||
【权利要求书】：
1.一种硅料清洗装置中的酸洗槽，包括用于放置液体和工件的槽体(1)，其特征在于：所述的槽体(1)上口部设置有惰性气体的风刀(2)，风刀(2)的宽度不小于槽体(1)的是上口部，槽体(1)的底部通过管道(3)和阀门(4)分别与酸溶液储液槽(5)、漂洗溶液储液槽(6)相连通。
2.根据权利要求1所述的一种硅料清洗装置中的酸洗槽，其特征在于：所述的惰性气体风刀(2)对称设置在槽体(1)的两侧面。
3.根据权利要求1所述的一种硅料清洗装置中的酸洗槽，其特征在于：所述的槽体(1)底部设置有一出液管道(3)，该出液管道(3)通过三通后分支成两管道(3)分别与酸溶液储液槽(5)、漂洗溶液储液槽(6)相连通，与酸溶液储液槽(5)、漂洗溶液储液槽(6)相连通的两分支管道(3)上分别设置有控制阀门(4)。
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