[发明专利]硅料清洗装置中的酸洗槽

说明书

技术领域

本发明涉及一种超声波清洗装置，尤其涉及一种硅料清洗装置中的酸洗槽结构。

背景技术

硅料是半导体信息电子行业、太阳能发电行业最基本的关键材料，硅料的纯度和它的利用价值关系极为密切，而清洗又是提高硅料纯度的有效途径。在硅料的清洗过程中我们发现：当硅料表面存在有酸性溶液时，在与空气接触的情况下，硅料表面极易生成氧化层，若硅料表面没有酸性溶液存在，硅料与空气接触生成氧化层的速度很慢。目前，在采用超声波清洗设备清洗硅料时，为防止硅料在清洗过程中发生氧化，其主要办法就是缩短硅料在空气中的停留时间，即尽量快速地将硅料从上一工序的溶液中转移到下一工序的另一种溶液中，从而达到防止氧化的目的，但这种方法尚不能彻底解决硅料表面的氧化现象，另外，这种硅料的转移装置结构也较复杂，制造成本较高。

发明内容

本发明的目的在于提供一种硅料在清洗过程中可避免与空气中的氧气接触，从而可防止硅料二次氧化的硅料清洗装置中的酸洗槽。

为实现本发明的目的，一种硅料清洗装置中的酸洗槽，包括用于放置液体和工件的槽体，所述的槽体上口部设置有惰性气体的风刀，风刀的宽度不小于槽体的是上口部，槽体的底部通过管道和阀门分别与酸溶液储液槽、漂洗溶液储液槽相连通；

所述的惰性气体风刀对称设置在槽体的两侧面；

所述的槽体底部设置有一出液管道，该出液管道通过三通后分支成两管道分别与酸溶液储液槽、漂洗溶液储液槽相连通，与酸溶液储液槽、漂洗溶液储液槽相连通的两分支管道上分别设置有控制阀门。

本发明的有益效果是：消除了硅料在酸性溶液中清洗后出现的硅料表面二次氧化的难题，对提高硅料纯度有着明显的效果。

附图说明

图1为本发明硅料清洗装置中的酸洗槽结构示意图。

图中：1、槽体，2、风刀，3、管道，4、阀门，5、酸溶液储液槽，6、、漂洗溶液储液槽。

具体实施方式

下面结合附图对本发明硅料清洗装置中的酸洗槽作进一步说明：

如图1所示，一种硅料清洗装置中的酸洗槽，包括用于放置液体和工件的槽体1，槽体1上口部设置有惰性气体的风刀2，风刀2的宽度不小于槽体1的是上口部，槽体1底部设置有一出液管道3，该出液管道3通过三通后分支成两管道3分别与酸溶液储液槽5、漂洗溶液储液槽6相连通，与酸溶液储液槽5、漂洗溶液储液槽6相连通的两分支管道3上分别设置有控制阀门4，上述的惰性气体风刀2通常对称设置在槽体1的两侧。

该设备的关键之处是：硅料经酸洗后，进入漂洗之前，在这一自动流转过程中用氮气将表面存有酸性溶液的硅料与空气隔绝，防止硅料氧化。

该设备的具体结构是：在普通超声波清洗自动线的基础上，对酸洗槽进行结构性优化设计。在酸洗槽上装有液位开关和氮气风刀，硅料经酸洗后酸溶液自动快速的排放进储酸槽，同时打开氮气风刀，使空气无法与槽内清洗的硅料接触，当快速排完酸性溶液后，立即向酸槽内快速注入漂洗水溶液，待漂洗水溶液呈中性后，说明硅料表面的酸溶液已洗净，关闭氮气风刀，进入下一道工艺流程。