[发明专利]激励器及其制备方法、光学系统和图像形成装置

权利要求书

1.一种激励器，包括：

运转部分；和

接触部分，其与所述运转部分接触，所述接触部分通过将第一图形重叠在 第二图形的端部上形成，所述第一图形具有立体结构，在所述第二图形上的所 述第一图形的立体结构的上部尺寸小于加工分辨率。

2.如权利要求1中所述的激励器，其中

所述接触部分通过重叠两层或多层形成，并且

所述接触部分对应于所述两层或多层中的一个的图形端部和所述两层或 多层中的另一个的图形端部的重叠部分。

3.如权利要求2中所述的激励器，还包括：

基底；

多个调节部件，分别布置在所述基底的角部，每一个所述调节部件在其顶 部具有止动部；

支撑部件，具有顶部，并且布置在基底的表面上；

片状部件，用作运转部分，不具有固定端，所述片状部件包括光反射区、 由具有导电部分的部件形成的导电层，所述片状部件可移动地布置在所述基 底、支撑部件和调节部件的止动部之间的空间内；和

多个电极，其布置在基底上，几乎与所述片状部件的所述导电层相对，

其中

所述片状部件通过静电吸引力以所述支撑部件作为中心倾斜，来偏转入射 在所述光反射区上的光。

4.如权利要求3中所述的激励器，其中所述接触部分的所述两层或多层 中的至少一层对应于形成电极的层。

5.如权利要求4中所述的激励器，其中

所述支撑部件通过重叠两层或多层形成，和

所述支撑部件的接触部分对应于所述两层或多层的图形重叠部分。

6.如权利要求5中所述的激励器，其中

所述两层或多层的图形的每个为矩形，和

所述支撑部件的接触部分对应于所述两层或多层中的一层的长边和所述 两层或多层中的另一层的长边相交的部分。

7.一种制造激励器的方法，所述激励器包括与运转部分接触的接触部分， 所述方法包括以下步骤：

通过将第一图形的立体结构重叠在第二图形端部上形成接触部分，所述立 体结构的上部的尺寸小于加工分辨率。

8.如权利要求7中所述的方法，其中

所述接触部分通过重叠两层或多层形成，和

所述接触部分对应于所述两层或多层中一层的图形端部和所述两层或多 层中的另一层的图形端部的重叠部分。

9.一种激励器阵列，包括：

多个激励器，以一维或二维布置，

其中

每一个激励器包括

运转部分；和

接触部分，其与所述运转部分相接触，所述接触部分通过将第一图形重叠 在第二图形的端部上形成，所述第一图形具有立体结构，在所述第二图形上的 所述第一图形的立体结构的上部尺寸小于加工分辨率。

10.如权利要求9中所述的激励器阵列，其中

所述接触部分通过重叠两层或多层形成，和

接触部分，对应于所述两层或多层中一层的图案端部与所述两层或多层中 的另一层的图案端部的重叠部分。

11.如权利要求10中所述的激励器阵列，其中

所述激励器还包括：

基底；

多个调节部件，其分别布置在所述基底的角部，每一个所述调节部件在其 顶部具有止动部；

支撑部件，其具有顶部，并且布置在所述基底的所述表面上；

片状部件，用作所述运转部件，并且不具有固定端，所述片状部件包括光 反射区、由具有导电部分的部件形成的导电层，所述片状部件可移动地布置在 所述基底、所述支撑部件和所述调节部件的所述止动部之间的空间内；和

多个电极，布置在所述基底上，并且几乎与所述片状部件的所述导电层相 对，

其中

所述片状部件通过静电吸引力以所述支撑部件作为中心倾斜，来偏转入射 在所述光反射区上的光。

12.如权利要求11中所述的激励器阵列，其中所述接触部分的所述两层 或多层中的至少一层对应于形成电极的层。