[发明专利]丝网印刷装置及图像识别对位方法

权利要求书

1.一种丝网印刷装置，使用形成于丝网掩模上的2个部位以上的任意图案开口部分和基板表面的2个部位以上的任意图案，基于图像处理把上述基板与丝网掩模进行对位，并经由丝网掩模向基板表面上涂敷糊剂，其特征在于包括：

第1单元，其分别检测由形成于丝网掩模上的上述图案开口部分的一部分或者全部构成的第3图案、以及由基板表面的任意图案的一部分或者全部构成的第1图案；

第2单元，其检测与上述第1图案相对的最终对位的第2图案的中心以及与上述第3图案相对的最终对位的第4图案的中心；

计算单元，其通过图像测量而计算由上述第1单元检测的第1图案的窗口中心与由上述第2单元检测的第2图案的中心的偏差和由上述第1单元检测的第3图案的窗口中心与由上述第2单元检测的第4图案的中心的偏差；以及

补正单元，其基于上述计算单元的计算结果而计算相对XYθ台各轴的补正系数并进行登记；

该丝网印刷装置还具有对位单元，该对位单元在生产运行中当由第1和第2单元检测出第1～第4图案的中心之后，在进行XYθ台对位量计算时，加上上述补正单元登记的补正值，算出XYθ台各轴的控制量并进行对位。