[发明专利]丝网印刷装置及图像识别对位方法

说明书

技术领域

本发明主要涉及丝网印刷装置，特别地涉及图像识别对位方法。

背景技术

一般的丝网印刷机具有：搬入基板传送带、搬出基板传送带、具有升降机构的台部、将转印图案作为开口部而具有的掩模、刮板、具有刮板升降机构和水平方向移动机构的刮板头、以及控制这些机构的控制装置。在将基板从搬入传送部分搬入到装置内后，在印刷台部临时对位基板并进行固定，然后，利用摄像机识别基板和具有与电路图案对应的开口部的掩模的双方的标记，对双方的偏移量进行位置补正，并在掩模上对基板进行对位，然后提升印刷台使得基板与掩模接触，通过刮板一边使掩模接触基板一边在掩模的开口部填充焊锡膏等的糊剂，然后下降台部，通过分离基板和掩模而在基板上转印糊剂，然后通过从装置搬出基板而进行印刷。

为了用摄像机识别上述基板和掩模的标记、对双方的偏移量进行位置补正、并在掩模上对位基板，而要求能够简单地教示目标图案、高速且反复地以高精度进行对位，并应用图案匹配手法等。作为图案匹配的手法，有专利文献1公开的方法。

[专利文献1]日本特公昭52-14112号公报

在专利文献1公开的方法中，用户必须预先决定窗口(window)，并且当使用不是预定的基准标记的任意图案而进行对位时，一般的方法是将用户决定的窗口的重心或中心或角部等作为对位的基准点，但对于本来对位的真的位置来说产生偏移，因而成为识别位置精度低下的主要原因，或者补正阶段占用时间长、影响生产。

发明内容

本发明的目的在于提供一种丝网印刷装置或图像识别对位方法，使得对于用于0.4mm间距CSP、0603芯片零件和0402芯片零件所代表性的电子单元的安装的超精细图案印刷，用户能够简单地操作且获得高的对位精度。

本发明的特征在于具有这样的单元，该单元自动测量用户决定的检索对象窗口的中心和任意图案中心的偏移量，登记为补正量，并在对位计算时加上补正量，计算出对位动作量并进行对位。

对于用在基板的对位中的各种图案，没有必要要求位置补正的熟练度而可简单地应对，并且提高印刷对位精度。

附图说明

图1(a)是示出了正面观察丝网印刷装置的结构的图。

图1(b)是示出了丝网印刷装置的控制部分的结构的图。

图2(a)是示出了侧面观察丝网印刷装置的结构的图。

图2(b)是示出了丝网印刷机在印刷中的状态的图。

图3是对基板和掩模的对位顺序进行说明的图。

图4是示出了辞典模型的一例的图。

图5是示出了在任意图案周围存在类似图案的情况下的相关映像的一例的图。

图6是示出了在基板内的2个部位配置了用于识别的图案的例子的图。

图7是示出了相关值计算部分～位置坐标计算部分的处理流程的图。

图8是示出了关于标记尺寸测量后的检查·尺寸补正的情况的图。

图9是示出了关于标记尺寸测量后的检查·尺寸补正、Lx＜Lx1的情况的图。

图10是示出了尺寸计算部分和尺寸补正部分的处理流程的图。

图11是说明在基板和掩模设置了多个标记的情况的例子的图。

图12是说明将H型图形作为基准模型的图案匹配的顺序的图。

图13是说明采用H型基准模型求出对位基准点的算法的图。

具体实施方式

在图1中详细说明了本发明中的丝网印刷装置的结构。在图1(a)中示出了正面观察丝网印刷装置的结构，在(b)中示出了系统结构图。在图2(a)中示出了侧面观察丝网印刷装置的结构，在(b)中示出了在从侧面观察丝网印刷装置的结构下的印刷中的状态。

采用的结构是，在未图示的主体框架中设置有版框托，在版框托上设置有粘贴了将印刷图案作为开口部而具有的、覆盖了丝网的掩模20(有时也称作丝网掩模)。在掩模20的上方，配置有刮板头2，在刮板头2上安装有刮板3。刮板头2通过刮板移动机构6而可在水平方向上移动，刮板3通过刮板升降机构4而可在上下方向上移动。在掩模20的下方与掩模20相对地设置有载置并保持作为印刷对象物的基板5的印刷台10。该印刷台10包括：在水平方向移动基板5并进行与掩模20的对位的XYθ台11、以及用于从搬入基板传送带25接收基板5、并且使基板5靠近或接触掩模面的台升降机构12。在印刷台10的上面设置有接收接收基板传送带26，在印刷台10上接收由搬入基板传送带25搬入的基板5，并在印刷结束之后将基板5排出到搬出基板传送带27。