[发明专利]具有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法

权利要求书

1.一种用于接合基板的装置，所述装置包括：

第一腔，具有其上放置有第一基板的第一表面板；

第二腔，与所述第一腔隔开设置，所述第二腔具有其上放置有第二基板的第二表面板，所述第二基板与所述第一基板接合；以及

对准单元，安装于所述第一和第二腔中的至少一个，所述对准单元适于在所述第一与第二基板之间执行六自由度对准。

2.根据权利要求1所述的装置，其中，所述对准单元包括：

连接板，适于可根据所述六自由度对准而移位；

支撑板，与所述连接板隔开设置；以及

多个致动器，安装在所述连接板与所述支撑板之间，所述致动器的一端枢转连接于所述连接板，并且所述致动器的另一端枢转连接于所述支撑板。

3.根据权利要求2所述的装置，其中，所述多个致动器包括第一致动器、第二致动器、第三致动器、第四致动器、第五致动器、以及第六致动器，这些所述致动器安装于不同的位置，以便于能够彼此协同操作。

4.根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元设置在所述第一腔与所述第一表面板之间，并且所述连接板结合于所述第一表面板，所述支撑板结合于所述第一腔。

5.根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元设置在所述第二腔与所述第二表面板之间，并且所述连接板结合于所述第二表面板，所述支撑板结合于所述第二腔。

6.根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元被设置成支撑所述第一腔，并且所述连接板结合于所述第一腔。

7.根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元被设置成支撑所述第二腔，并且所述连接板结合于所述第二腔。

8.根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元被设置成以这样的方式支撑所述第一表面板：所述连接板连接于所述第一表面板，并且所述多个致动器穿过所述第一腔。

9.根据权利要求8所述的装置，其中，波纹管安装在所述多个致动器的周围，以密封所述致动器以及所述第一腔的通孔。

10.根据权利要求3所述的装置，其中，所述对准单元被设置成以这样的方式支撑所述第二表面板：所述连接板连接于所述第二表面板，并且所述多个致动器穿过所述第二腔。

11.根据权利要求10所述的装置，其中，波纹管安装在所述多个致动器的周围，以密封所述致动器以及所述第二腔的通孔。

12.根据权利要求3所述的装置，其中，所述第一表面板设置有用于将所述第一基板附于其上的多个第一卡盘以及用于将所述第一卡盘结合于所述第一表面板的多个第一卡盘板。

13.根据权利要求12所述的装置，其中，所述对准单元设置在所述第一卡盘板与所述第一卡盘之间，并且所述连接板结合于所述第一卡盘，所述支撑板结合于所述第一卡盘板。

14.根据权利要求12所述的装置，其中，所述第二表面板设置有用于将所述第二基板附于其上的多个第二卡盘以及用于将所述第二卡盘结合于所述第二表面板的多个第二卡盘板。

15.根据权利要求14所述的装置，其中，所述对准单元设置在所述第二卡盘板与所述第二卡盘之间，并且所述连接板结合于所述第二卡盘，所述支撑板结合于所述第二卡盘板。

16.根据权利要求14所述的装置，其中，所述第一和第二卡盘中的至少一个设置有间距传感器，所述间距传感器用于测量所述第一与第二卡盘之间的距离。

17.根据权利要求1所述的装置，其中，设置多个所述第一表面板，并且所述对准单元设置在各个所述第一表面板与所述第一腔之间。

18.根据权利要求1所述的装置，其中，设置多个所述第二表面板，并且所述对准单元设置在各个所述第二表面板与所述第二腔之间。

19.根据权利要求1所述的装置，其中，所述第一表面板设置有间距传感器，所述间距传感器用于测量从所述第一表面板到所述第二表面板的距离。