[发明专利]具有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种用于接合基板的装置，更具体地，涉及一种具有对准单元的基板接合装置以及使用该装置对准基板的方法，其中对准单元能够使用多个致动器实现六自由度对准。

背景技术

基板接合装置用于将薄膜显示装置的两个基板彼此接合(bond)。薄膜显示装置的实例包括TFT-LCD面板、PDP、OLED等。这些薄膜显示装置以这样的方式制造：TFT基板与滤色片基板接合，使得它们彼此相对并在其间具有几微米的间隙。TFT基板设置有以矩阵形式形成的多个TFT(薄膜晶体管)，并且滤色片基板由滤色片、遮光薄膜等形成。

基板接合通过按压两个基板来完成。因此，基板接合装置包括第一腔以及与第一腔隔开的第二腔。每个腔均设置有其上附有基板的表面板(surface plate)。然后，第一腔在精确地保持两个表面板彼此平行的同时下降。在基板彼此更加靠近之后，执行两个基板的接合。

同时，如果没有严格地保持两个表面板之间的对齐，在基板接合的对准操作期间就会产生对准误差。因此，在处理之前，必须完成安装于腔的表面板的精确对准。

在这种情况下，通过使用一个或多个螺栓将表面板紧固在上来完成表面板的对准。通常，通过使用校平器以及水平调节工具手动完成这种对准工作。

发明内容

在传统的表面板对准的情况下，由技术工人来调节平坦性和平行度。因此，需要花费大量时间来进行表面板的调节，并且根据工人技术的不同使得完成的对准也不同。

此外，由于基板接合装置被重复使用，所以可能会破坏表面板的对准状态。因此，需要定期调节表面板的对准状态。此外，在使用多个表面板以接合大面积基板的情况下，难以将所有的表面板对准成为同一对准状态。

因此，本发明致力于解决现有技术中出现的上述问题，并且本发明的目的在于提供一种具有能够实现六自由度对准的对准单元的基板接合装置。

本发明的另一目的在于提供一种使用这种基板接合装置对准基板的方法。

为了达到上述目的，根据本发明，提供一种用于接合基板的装置。该装置包括第一腔，该第一腔具有其上放置有第一基板的第一表面板。第二腔与第一腔隔开设置。该第二腔具有放置有第二基板的第二表面板。第二基板与第一基板接合。对准单元安装于第一和第二腔中的至少一个。对准单元适于在第一与第二基板之间执行六自由度对准。

根据本发明的另一方面，提供一种调节用于接合第一和第二基板的装置中的第一基板与第二基板之间的距离的方法。该方法包括以下步骤：测量彼此相对的第一与第二基板之间的距离；以及根据测量结果，通过使用具有多个致动器的六自由度对准单元来调节第一与第二基板之间的距离。

根据本发明的基板接合装置和基板对准方法，能够以六自由度自动对准并调节两个表面板的水平状态及其间的间距。因此，与传统的手动调节表面板之间的间隔相比较，能够实现改进的对准效率。

此外，通过基板接合装置和基板对准方法，能够以更有效的方式执行对基板接合装置的维修，并且能够不断地并自动地执行表面板之间的间距的调节，从而进一步提高基板接合的产率。

附图说明

通过以下结合附图对本发明优选实施例的详细描述，本发明的上述和其它目的、特征和优点将变得更加明显，附图中：

图1是示出根据本发明第一实施例的基板接合装置的示意性截面图；

图2是示出根据本发明第一实施例的对准单元的放大透视图；

图3是解释根据本发明第一实施例的基板接合装置中的基板对准方法的流程图；

图4是示意性地示出根据本发明第二实施例的基板接合装置的截面图；

图5是示意性地示出根据本发明第三实施例的基板接合装置的截面图；

图6是示意性地示出根据本发明第四实施例的基板接合装置的截面图；

图7是示意性地示出根据本发明第五实施例的基板接合装置的截面图；

图8是示意性地示出根据本发明第六实施例的基板接合装置的截面图；以及

图9是示意性地示出根据本发明第七实施例的基板接合装置的截面图。

具体实施方式

现在，参照附图，将详细描述本发明的优选实施例。

第一实施例

图1是示意性地示出根据本发明第一实施例的基板接合装置的截面图，其中该装置通常以100表示。参照图1，基板接合装置包括第一腔110、第二腔130、以及对准单元150。第一腔110与第二腔130之间形成有处理空间1a，在该处理空间，第一基板S1和第二基板S2彼此接合。第一和第二基板S1和S2可以是TFT基板或滤色片基板。