[发明专利]可变形镜无效
| 申请号： | 200710141392.3 | 申请日： | 2007-08-09 |
| 公开（公告）号： | CN101122680A | 公开（公告）日： | 2008-02-13 |
| 发明（设计）人： | 田中史记;田中克彦;石井明;杉山进 | 申请（专利权）人： | 船井电机株式会社;学校法人立命馆 |
| 主分类号： | G02B26/08 | 分类号： | G02B26/08;G11B7/135;H01L41/08 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 | 代理人： | 王玉双 |
| 地址： | 日本大阪*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 变形 | ||
1.一种可变形镜，包括：
支承基板；
镜基板，其与所述支承基板相对，并具有处于与朝向所述支承基板的表面相对的表面上的反射面；
固定构件，其设置于所述支承基板上，并且固定所述镜基板；和
至少一个压电元件，其设置于所述支承基板上，并且当施加电压时所述压电元件膨胀或收缩，以使得由所述固定构件固定的部分围绕的所述镜基板的区域能够变形，其中
将所述镜基板与所述固定构件相互接合的接合层设置于所述镜基板的与形成反射面的表面相对的表面上，而且所述接合层形成于与进入所述反射面的光束的入射区域的外面相对应的区域。
2.如权利要求1所述的可变形镜，其中设置到所述镜基板上的所述接合层仅形成于接合至所述固定构件的所述镜基板的部分。
3.如权利要求1所述的可变形镜，其中所述接合层是能够通过热压接合使所述镜基板与所述固定构件相互接合的金属层。
4.如权利要求1所述的可变形镜，其中所述镜基板的厚度在50μm-300μm范围内。
5.如权利要求1所述的可变形镜，其中所述镜基板与所述压电元件没有相互接合。
6.如权利要求2所述的可变形镜，其中所述接合层是能够通过热压接合使所述镜基板与所述固定构件相互接合的金属层。
7.如权利要求2所述的可变形镜，其中所述镜基板的厚度在50μm-300μm范围内。
8.如权利要求2所述的可变形镜，其中所述镜基板与所述压电元件没有相互接合。
9.如权利要求3所述的可变形镜，其中所述镜基板的厚度在50μm-300μm范围内。
10.如权利要求3所述的可变形镜，其中所述镜基板与所述压电元件没有相互接合。
11.如权利要求4所述的可变形镜，其中所述镜基板与所述压电元件没有相互接合。
12.如权利要求6所述的可变形镜，其中所述镜基板的厚度在50μm-300μm范围内。
13.如权利要求6所述的可变形镜，其中所述镜基板与所述压电元件没有相互接合。
14.如权利要求7所述的可变形镜，其中所述镜基板与所述压电元件没有相互接合。
15.如权利要求9所述的可变形镜，其中所述镜基板与所述压电元件没有相互接合。
16.如权利要求12所述的可变形镜，其中所述镜基板与所述压电元件没有相互接合。
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