[发明专利]可变形镜

说明书

技术领域

本发明涉及一种可变形镜，该镜设置于光学装置例如光学拾取装置中，并且该镜能够改变其反射面的形状。更具体的讲，本发明涉及一种可变形镜，该镜的结构能够降低装配过程中反射面可能发生的变形。

背景技术

通常，关于可变形镜有不同的提议，它们提出可变形镜能够改变自身反射面的形状以修正入射光束的光学畸变等，而且这种可变形镜应用非常广泛，包括图像处理装置和光学拾取装置。

例如，在光学拾取装置领域中，如JP-A-2004-109562或JP-A-2005-196859所示的，可变形镜用于修正当在光盘上读取信息或信息写入光盘、诸如CD(压缩光盘)或DVD(数字通用光盘)的时候可能发生的波象差，这种波象差包括当光盘表面相对于光轴倾斜时可能发生的慧形象差，以及由于用来保护光盘的记录表面的透明树脂膜(保护层)的变化引起的球形像差。

至于这种可变形镜，有如JP-A-2004-109562中所示的可变形镜使用压电元件并具有单压电晶片元件或双压电晶片元件形状，还有如JP-A-2005-196859中所示的可变形镜由层压薄膜例如压电膜制成。至于另一种可变形镜，如JP-A-H05-333274所示的可变形镜利用柱状压电元件(压电致动器)沿纵向(竖直方向)的膨胀或收缩可以使其反射面变形。而且，利用柱状压电元件沿纵向的膨胀或收缩可以使其反射面变形的可变形镜，具有制造容易的优点。另外，与JP-A-2005-196859中所公开的由层压薄膜制成的可变形镜比较，除了易于制造，它还在成本上具有优势。

然而，利用压电元件沿纵向的膨胀和收缩可以使其反射面变形的可变形镜，具有如下问题。

至于利用压电元件沿纵向的膨胀和收缩可以使其反射面变形的可变形镜，例如粘接剂或金属膜的粘接层(接合层)用于将镜基板和固定镜基板的固定构件相接合，以及将镜基板和压电元件相接合。因此，当装配可变形镜的时候，粘接层设置于镜基板的与设置反射面的表面相对的表面，然后将固定构件和压电元件接合至镜基板。而且，在传统的方法中，考虑到固定构件和压电元件都接合至镜基板，粘接层设置于与固定构件和压电元件相接合的镜基板的整个表面。

当镜基板和固定构件或压电元件互相接合时，粘接层应该设置于镜基板上。这是因为设置于镜基板和固定构件等之间的粘接层应该较薄且均匀。更具体地说，为了形成薄且均匀的粘接层(厚度是2μm或者更薄)，将金属层(如金层)用作粘接层的方法是有利的，因为可以容易地形成粘接层。然而，在这种情况下，为了充分地接合，粘接层应该形成于镜基板和固定构件或压电元件上。因此，粘接层也形成于镜基板上。另外，如果粘接剂用于形成薄且均匀的粘接层，使用旋涂法等。然而，在固定构件和压电元件上形成薄且均匀的粘接层是困难的。因此，在使用粘接剂的情况下在镜基板上设置粘接层是必要的。

粘接层形成薄层的原因是，如果粘接层太厚，那么镜基板不能通过压电元件的膨胀和收缩而充分地变形。粘接层形成均匀层的原因是用于均匀地执行接合过程。

然而，从发明者进行的研究中发现，当使用厚度约为1μm的金层形成为尺寸是12mm×12mm、厚度约为100um的镜基板(Si基板)上的粘接层时，相对于镜基板的水平状态发生在镜基板内的弯曲的最大值约为10-15μm。注意，该弯曲可能由残余应力导致，例如在所形成的金层中产生的张应力或压应力。

因此，在如传统结构(包含如JP-A-H05-333274所述的一种结构，在该结构中填充料设置于镜基板的整个表面上)的粘接层形成于镜基板的整个表面的结构中，存在如下问题。问题在于：在形成粘接层时可能发生畸变，在镜基板和固定构件等之间的接合引起设置于镜基板上的反射面上的大应力(畸变)，导致可变形镜未充分修正光学畸变。

发明内容

本发明的目的是提供一种可变形镜，它能够使其反射面变形，并且它的结构能够抑制装配过程中在反射面上可能产生的畸变。

本发明的可变形镜包括：支承基板；镜基板，其与支承基板相对，并具有处于与朝向支承基板的表面相对的表面上的反射面；固定构件，设置于支承基板上并且固定镜基板；和压电元件，其设置于支承基板上，并且当施加电压时膨胀或收缩，以使得由固定构件固定的部分围绕的所述镜基板的区域能够变形。该可变形镜通过将电压施加至压电元件使得反射面和镜基板发生变形。用于使镜基板和固定构件相互接合的接合层设置于镜基板的表面上，所述表面与形成反射面的表面相对，而且该接合层形成于与进入所述反射面的光束的入射区域的外面相对应的区域。