[发明专利]可变形镜的制造方法

权利要求书

1.一种可变形镜的制造方法，每个可变形镜包括：

支撑基板；

镜基板，其与该支撑基板相对，并且由支撑柱支撑以及在该镜基板的表面上具有反射膜，以及

压电元件，其夹在该支撑基板和该镜基板之间，并且当施加电场时该压电元件能够膨胀或收缩，以使该镜基板和反射膜变形；以及

该制造方法包括如下步骤：

组装步骤，在该支撑基板上叠置具有类似梳齿状的凸条部分的一对夹具，使得所述凸条部分彼此正交；将所述支撑柱和所述压电元件插入至由所述凸条部分之间的间隙所形成的通孔部分；以及将所述镜基板放置在所述支撑柱和所述压电元件上；

接合步骤，至少分别将所述支撑基板与所述支撑柱、所述支撑基板与所述压电元件以及所述镜基板与所述支撑柱彼此接合；

夹具抽出步骤，在与该凸条部分的凸出方向相反的方向上抽出所述夹具；以及

反射膜形成步骤，在所述镜基板的外表面上形成所述反射膜。

2.根据权利要求1所述的可变形镜的制造方法，其特征在于，在所述支撑基板与所述支撑柱之间的接合部分、在所述支撑基板与所述压电元件之间的接合部分、在所述镜基板与所述支撑柱之间的接合部分以及在所述镜基板与所述压电元件之间的接合部分均配置有薄金属层，以及在上述各自的配置过程中，在将所述各元件加热的同时，使得它们彼此相压，以接合在一起。

3.根据权利要求2所述的可变形镜的制造方法，其特征在于，所述夹具的热膨胀系数与所述支撑基板的热膨胀系数相同。