[发明专利]可变形镜的制造方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种安装在光学拾取设备上的可变形镜的制造方法。

背景技术

传统地，压缩光盘(CD)和数字多用途光盘(DVD)可在市场中用作记录信息(例如图片和声音)的光学记录介质。此外，近几年来，下一代DVD已经商业化，其使用具有短波长的紫色激光束来实现更高密度的记录。为了使用这种光盘，需要用作驱动装置的光盘装置。光盘装置驱动光盘旋转，并且将激光束导向至光盘的记录表面上，从而记录或擦除信息以及基于来自记录表面的反射光来再现信息。此外，为了实现这种功能，光盘装置安装有光学拾取设备，其作为一组单元，用来发射激光束、将激光束导向至光盘的记录表面上以形成光束点以及从光盘的记录表面接收反射光。

这里，根据需要符合的标准，采用的光学拾取设备，特别是下一代DVD具有较高的数值孔径。在这种情况下中，在光盘的厚度轻微变化时产生的球差的影响变得显著，从而无法获得微小的光束点。因此，再现信号的抖动强烈，以及记录峰值功率降低，从而使得记录和再现的质量降低。

此外，激光束的光轴可略微倾斜于因光盘的扭曲等而形成的记录表面。在这种情况下，激光束的光程弯曲，从而产生慧差，这样难以将激光束聚集到适当的斑直径内。结果，造成记录和再现质量降低。还存在造成记录和再现质量降低的其它因素，包括对可造成像散像差的光学系统(例如作为光学拾取设备元件的光学透镜或分束器)进行精确定位。

为了防止上述情况的发生，提出了一种可校正波像差(例如球差)的可变形镜。例如，如图4所示，在光学系统中采用该可变形镜1的光学拾取设备包括：半导体激光器12、准直透镜13、分束器14、可变形镜1、1/4波片15、物镜16、聚光透镜17、光子探测器18等。从半导体激光器12发射出的激光束通过准直透镜13形成为多条平行光线，经过分束器14，在通过1/4波片15改变其极性状态后经可变形镜1反射，并且通过物镜16聚光，从而到达光盘D的记录表面。此外，由光盘D的记录表面反射的激光束经过物镜16，由可变形镜1反射，经过1/4波片15，然后这次是由分束器14反射，并且通过聚光透镜17聚光，从而最后到达光子探测器18。

可变形镜1具有所谓的升高(rise up)反射镜功能，其与光盘D平行用以反射被射向光盘D的激光束，以及反射来自光盘D的反射光。可变形镜1还具有这样的功能，即在必要时改变反射面，以精确调整激光束的反射角，从而校正波像差。在这种情况下，基于由光子探测器18获取的信号，如果有必要校正波像差，则配置在光学拾取设备上的控制部分向可变形镜1发送信号，从而改变反射面的形状来校正像差。

有这样一种类型的可变形镜1，其具有由压电材料制成的压电元件的特性(例如参见JP-A-2004-109769和JP-A-2004-226457)。这种可变形镜1通常包括：支撑基板、由支撑柱支撑且与支撑基板相对的镜基板以及夹在支撑基板和镜基板中间的压电元件。镜基板的外表面配置有反射膜，作为激光束的反射面。当对压电元件施加预定电压以形成电场时，压电元件在支撑基板和镜基板中间膨胀或是收缩。镜基板根据膨胀或收缩而弹性变形，在镜基板变形之后，反射膜(即反射面)也发生变形。

目前，还未提出适合于大批量生产这种可变形镜的制造方法。例如，在目前的环境下，从晶片切割出用以构成每个可变形镜的支撑基板和镜基板，并且将支撑柱和压电元件夹在支撑基板和镜基板之间。随后，将被切割的两个晶片和支撑柱以及将被切割的两个晶片和压电元件分别接合起来。在这种情况下，首先，将在配置有支撑柱和压电元件的位置处具有通孔的面板夹具(plate jig)放置在支撑基板上，并且将支撑柱和压电元件插入至夹具的通孔中。在这种状态下，使得支撑基板和支撑柱，以及支撑基板和压电元件相互接合。在去除夹具后，将镜基板放置在支撑柱和压电元件上，则使得镜基板和支撑柱，以及镜基板和压电元件相互接合。随后，在镜基板的外表面上形成反射膜。因此，最后能够获得可变形镜。

然而，根据这种方法，分别独立地将压电元件和支撑柱接合至支撑基板和镜基板。这是因为如果它们在同时接合，则不能去除夹具。由于该方法需要两个结合步骤，所以该方法效率较低且不适合大批量生产。

发明内容

鉴于上述问题，本发明的发明目的是提供一种适合于大批量生产的可变形镜的制造方法。