[发明专利]气浮式机台接触警报装置

权利要求书

1.一种气浮式机台接触警报装置，至少包含：

一测量电路，以测量一气浮式机台的一底座与一气浮平台之间的一阻抗，并输出一测量电压；

一参考电压电路，用于输出一参考电压；

一显示控制器，连接该测量电路及该参考电压电路；以及

一显示器，连接该显示控制器；

其中，该显示控制器比较该测量电压与该参考电压，以检测该气浮平台与该底座之间的一间隙。

2.如权利要求1所述的气浮式机台接触警报装置，其中该显示器由多个发光二极管所组成，且所述发光二极管排列成至少一条状的发光二极管显示器。

3.如权利要求1所述的气浮式机台接触警报装置，还包含一警报器，当该间隙小于一预定值时，发出警报或送出一信号。

4.一种气浮式机台，至少包含：

一底座；

一气浮平台；以及

如权利要求1所述的气浮式机台接触警报装置，用以检测该底座与该气浮平台间的一间隙。

5.如权利要求4所述的气浮式机台，还包含一警报器，当该间隙小于一预定值时，发出警报或送出一信号。

6.如权利要求5所述的气浮式机台，其中所述的警报器连接于一制造工艺控制计算机。

7.如权利要求4所述的气浮式机台，其中该底座为一导电材质底座。

8.如权利要求4所述的气浮式机台，其中该气浮平台为一导电材质。

9.如权利要求8所述的气浮式机台，其中该气浮平台还包含多个气垫装置，向该底座吹出气流，以使该气浮平台悬浮于该底座之上。

10.如权利要求4所述的气浮式机台，其中所述的气浮平台用来承载一基板。