[发明专利]气浮式机台接触警报装置

说明书

技术领域

本发明有关于一种气浮式机台接触警报装置，特别有关于一种具有实时检测功能的气浮式机台接触警报装置。

背景技术

近年来由于光电相关技术不断地推陈出新，加上数字化时代的到来，进而推动了液晶显示器市场的蓬勃发展。液晶显示器具有高画质、体积小、重量轻、低驱动电压、与低消耗功率等优点，因此被广泛应用于个人数字助理(Personal Digital Assistant；PDA)、移动电话、摄像录放机、笔记本计算机、台式显示器、车用显示器、及投影电视等消费性通讯或电子产品，并逐渐取代阴极射线管而成为显示器的主流。

在生产液晶显示器时，由于大面积的基板需要在制造工艺中进行移动，故具有X-Y方向移动功能的机台肩负起基板移动与对准的重要工作。其中，气浮式驱动装置利用磁力与气浮产生小于5微米(micrometer；μm)的浮上量稳定移动。不仅可以大幅降低震动，也大幅减少摩擦所产生的粉尘，故常常被利用在半导体厂与面板厂的曝光机台。

然而，气浮式驱动装置在运作时，常会受到，例如是地震、撞击、刮伤、粉尘、破片等因素，以致于造成上浮量慢慢减少，最后刮伤底座，甚至造成气垫装置的损毁。

发明内容

鉴于上述的现有技术中，由于气浮式驱动装置在运作时，常因上浮量的减少，以致于刮伤底座，甚至于造成气垫装置的损毁。

本发明的一目的，提供一气浮式机台接触警报装置，可动态的检测气浮平台与底座的间隙，以避免气浮平台与底座接触。

本发明的另一目的，提供一种气浮式机台接触警报装置，可实时准确地检测气浮平台与底座的间隙，并显示检测结果。

根据以上所述的目的，本发明提供一种气浮式机台接触警报装置。该气浮式机台接触警报装置包含有一测量电路、一参考电压电路、一显示控制器与一显示器；其中，测量电路用来测量气浮式机台的底座与气浮平台之间的一阻抗，并输出一测量电压至显示控制器；参考电压电路则输出一参考电压至显示控制器；显示控制器比较测量电压与参考电压，以判断气浮平台与底座之间的一间隙，并通过显示器输出。

上述的气浮式机台接触警报装置，其中优选地，显示器由多个发光二极管所组成，例如是排列成至少一条状的发光二极管显示器。

上述的气浮式机台接触警报装置，其中优选地，还可利用一警报器，当间隙小于一预定值时，发出警报或传送信号至一制造工艺控制计算机。

本发明还揭示一种气浮式机台，其包含有一底座、一气浮平台以及上述的气浮式机台接触警报装置，用以检测该底座与该气浮平台间的一间隙。

上述的气浮式机台，其中优选地，还包含一警报器，当该间隙小于一预定值时，发出警报或送出一信号。

上述的气浮式机台，其中优选地，所述的警报器连接于一制造工艺控制计算机。

上述的气浮式机台，其中优选地，该底座为一导电材质底座。

上述的气浮式机台，其中优选地，该气浮平台为一导电材质。

上述的气浮式机台，其中优选地，该气浮平台还包含多个气垫装置，向该底座吹出气流，以使该气浮平台悬浮于该底座之上。

上述的气浮式机台，其中优选地，所述的气浮平台用来承载一基板。

因此，本发明的气浮式机台接触警报装置与利用此接触警报装置的气浮式机台可以实时输出检测结果，即便是在机台运转时，仍可有效地监控气浮平台与底座之间的间隙，使得气浮式机台的操作更为安全，进而提升气浮式机台的使用寿命，降低生产成本。

附图说明

图1为本发明的气浮式机台接触警报装置的一较佳实施例示意图；

图2为气浮式机台的一较佳实施例示意图。

其中，附图标记说明如下：

100：气浮式机台接触警报装置    200：气浮式机台

110：测量电路                  210：导线

120：参考电压电路              220：气垫装置

130：显示控制器                230：磁性装置

140：显示器                    240：底座

150：警报器                    250：气浮平台

260：间隙

具体实施方式